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81. MEMS器件分層失效的強化試驗技術(shù)研究

82. 差分型MEMS矢量水聽器的研制

83. MEMS加速度計開環(huán)檢測電路的設(shè)計

84. MEMS微摩擦磨損儀器的研究進展

85. 基于MEMS慣性器件的個人導(dǎo)航系統(tǒng)研究

86. 差分式MEMS面內(nèi)加速度計設(shè)計

87. MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀與應(yīng)用

88. 基于MEMS重力檢測的數(shù)字水平儀

89. MEMS加速度計可靠性評價技術(shù)

90. MEMS固體微推力器陣列發(fā)展研究