本文關(guān)鍵詞：MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀與應(yīng)用　出處：《中國高新技術(shù)企業(yè)》2016年35期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： MEMS傳感器 加速度計 陀螺儀 納米技術(shù) 微機構(gòu) 微傳感器

【摘要】：MEMS傳感器是隨著納米技術(shù)的發(fā)展而興起的新型傳感器,具有很多新的特性,相對傳統(tǒng)傳感器其具有更大的優(yōu)勢。在追求微型化的當(dāng)代,其具有良好的發(fā)展前景,必將受到各個國家越來越多的重視。文章首先介紹了MEMS傳感器的分類和典型應(yīng)用,然后著重對幾個傳感器進行了介紹,最后對MEMS傳感器的發(fā)展趨勢與發(fā)展前景進行了分析。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院;
【分類號】：TP212
【正文快照】： 1　背景汽車應(yīng)用的宿命。廣義上講,MEMS是指可批量制作的,集微機構(gòu)、微2　目前已有的MEMS傳感器傳感器、微執(zhí)行器以及信號處理及控制電路,乃至通信2.1　MEMS加速度計和電源于一體的微型器件或機電系統(tǒng)。MEMS加速度計,顧名思義,即是用來測量物體加速1.1　MEMS技術(shù)的發(fā)展度的儀

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 ;第二章 加速度計的特性[J];強度與環(huán)境;1978年02期

2 吳捷 ,管仕欽;加速度計的參數(shù)測試與動態(tài)綜合[J];華南工學(xué)院學(xué)報;1979年02期

3 沈宏甫 ,鐘偉麟;一個能從零赫芝起工作的加速度計[J];上海力學(xué);1980年02期

4 沈宏甫 ,鐘偉麟 ,王加政 ,王洪興;差容式加速度計的研制[J];同濟大學(xué)學(xué)報;1981年03期

5 于治會;;關(guān)于接點式加速度計使用范圍的討論[J];強度與環(huán)境;1983年03期

6 P.Hartemann ,P-L.Meunier ,王一農(nóng) ,楊清宗;表面波加速度計[J];系統(tǒng)工程與電子技術(shù);1986年09期

7 于治會;;加速度計設(shè)計的新發(fā)展[J];強度與環(huán)境;1988年02期

8 M.Edward Motamedi,劉榮貴;聲加速度計[J];壓電與聲光;1989年01期

9 張榮祥,王祁;加速度計校準[J];電測與儀表;1991年06期

10 韓同彬;劉潔瑜;汪立新;秦偉偉;;基于虛擬儀器的加速度計測試系統(tǒng)方案設(shè)計[J];電子測量技術(shù);2008年10期

相關(guān)會議論文 前4條

1 錢朋安;;加速度計自動校準技術(shù)研究的現(xiàn)狀分析[A];第十七屆全國測控計量儀器儀表學(xué)術(shù)年會（MCMI'2007）論文集（下冊）[C];2007年

2 杜祖良;;組合導(dǎo)航技術(shù)[A];面向21世紀的科技進步與社會經(jīng)濟發(fā)展（下冊）[C];1999年

3 張士鈺;張勇;莫明崗;于華男;;軍用MEMS IMU的發(fā)展及應(yīng)用[A];微機電慣性技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢——慣性技術(shù)發(fā)展動態(tài)發(fā)展方向研討會文集[C];2011年

4 李榮冰;杭義軍;孫永榮;劉建業(yè);;高性能微型慣性姿態(tài)系統(tǒng)的設(shè)計、集成與試驗研究[A];微機電慣性技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢——慣性技術(shù)發(fā)展動態(tài)發(fā)展方向研討會文集[C];2011年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前6條

1 劉偉;光纖加速度計信號檢測和性能評價方法與技術(shù)[D];哈爾濱工程大學(xué);2012年

2 劉愛莉;壓阻式高g值加速度傳感器的動態(tài)特性研究[D];中北大學(xué);2013年

3 閆云鵬;基于加速度計的海底地震數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)研制[D];杭州電子科技大學(xué);2014年

4 張輝;彈上加速度數(shù)據(jù)檢測與處理系統(tǒng)設(shè)計[D];南京理工大學(xué);2014年

5 丁智堅;三軸慣性/地磁組合測量系統(tǒng)標定方法研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

6 張曉兵;獨輪機器人姿態(tài)檢測信息融合算法的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

，

本文編號：1328899