本文關(guān)鍵詞：差分式MEMS面內(nèi)加速度計(jì)設(shè)計(jì)　出處：《傳感技術(shù)學(xué)報(bào)》2014年07期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：設(shè)計(jì)了一種新型差分式大量程MEMS加速度計(jì),實(shí)現(xiàn)了面內(nèi)大過(guò)載信號(hào)的測(cè)試。首先利用MATLAB軟件結(jié)合理論原理,設(shè)計(jì)了具體的結(jié)構(gòu)參數(shù),利用ANSYS有限元分析軟件驗(yàn)證了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的合理性。將本差分式MEMS面內(nèi)加速度計(jì)結(jié)構(gòu)用于集成三軸傳感器,3個(gè)敏感質(zhì)量塊可以分別感應(yīng)3個(gè)方向的加速度而不會(huì)相互影響,可以有效解決傳感器體積大以及軸間交叉干擾的難題。
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)國(guó)防科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院;
【基金】：國(guó)家“十二五”裝備預(yù)研項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 軍事上各種彈丸侵徹硬目標(biāo)以及大當(dāng)量沖擊波場(chǎng)爆炸威力過(guò)程中的三維動(dòng)態(tài)加速度的參數(shù)評(píng)估測(cè)試越來(lái)越受到全世界范圍內(nèi)的重視,它對(duì)于戰(zhàn)略武器的發(fā)展具有舉足輕重的作用[1-3]。目前,測(cè)試三維加速主要有兩種方法:第一,利用3個(gè)單獨(dú)的單軸加速度傳感器集成一個(gè)測(cè)試系統(tǒng),這種方法雖

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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2 趙銳;石云波;唐軍;劉俊;;MEMS面內(nèi)大量程加速度傳感器設(shè)計(jì)與分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2011年08期

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中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 夏俊生;;MCM高過(guò)載環(huán)境適應(yīng)技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展[A];2007'第十二屆全國(guó)可靠性物理學(xué)術(shù)討論會(huì)論文集[C];2007年

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3 賈孟軍;硅微機(jī)械加速度開關(guān)技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）;2007年

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 姚寶珍;基于FPGA的引信計(jì)行程控制原理研究[D];中北大學(xué);2011年

2 邱揚(yáng)剛;硬目標(biāo)侵徹計(jì)層/計(jì)空穴原理研究[D];中北大學(xué);2011年

3 李仙;侵徹引信仿真測(cè)試系統(tǒng)信號(hào)分析與專用數(shù)據(jù)傳輸接口技術(shù)[D];南京理工大學(xué);2011年

4 王興華;單片三軸微加速度計(jì)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

5 陳亮亮;侵徹彈藥智能引信研究[D];中北大學(xué);2006年

6 古玉鋒;基于Σ-Δ調(diào)制技術(shù)的數(shù)字反饋控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)[D];西北工業(yè)大學(xué);2006年

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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6 趙銳;石云波;唐軍;劉俊;;MEMS面內(nèi)大量程加速度傳感器設(shè)計(jì)與分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2011年08期

7 唐國(guó)明;楊曙年;;壓電式加速度傳感器安裝諧振頻率分析[J];傳感器與微系統(tǒng);2006年07期

8 梁志國(guó),李新良,孫t熡，

本文編號(hào)：1319133