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71. MEMS器件分層失效的強化試驗技術研究

72. 差分型MEMS矢量水聽器的研制

73. MEMS加速度計開環(huán)檢測電路的設計

74. MEMS微摩擦磨損儀器的研究進展

75. 基于MEMS慣性器件的個人導航系統(tǒng)研究

76. 差分式MEMS面內加速度計設計

77. MEMS傳感器發(fā)展現狀與應用

78. 基于MEMS重力檢測的數字水平儀

79. MEMS加速度計可靠性評價技術

80. MEMS固體微推力器陣列發(fā)展研究

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