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61. 基于MEMS的太赫茲可調(diào)器件研究

62. 基于MEMS的太赫茲可調(diào)器件研究

63. MEMS集成復(fù)合磁芯雙層平面電感研究

64. RF MEMS器件及其集成技術(shù)研究

65. 子彈引信MEMS安全系統(tǒng)設(shè)計與仿真

66. 基于陣列技術(shù)的MEMS虛擬陀螺技術(shù)研究

67. 太赫茲體硅MEMS多層波紋喇叭天線

68. MEMS電熱驅(qū)動器的設(shè)計與分析

69. 真空封裝MEMS陀螺高溫老化失效機理研究

70. 基于MEMS技術(shù)的三維無線運動控制研究

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