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541. 基于RF MEMS開關的可變微波均衡器的優(yōu)化設計
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542. 復雜力學環(huán)境中MEMS安全系統(tǒng)失效機理與分析方法研究
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543. 基于MEMS技術的視覺假體多通道刺激微電極陣列的研究
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544. MEMS中高阻硅基底微小結構制造誤差的反演規(guī)律研究
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545. MEMS慣性傳感器在汽車領域和消費領域的應用（英文）
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546. 基于MEMS的非制冷紅外成像系統(tǒng)高速成像的分析及研究
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547. MEMS擺鏡在小型化激光成像雷達中的應用
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548. MEMS擺鏡在小型化激光成像雷達中的應用
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549. 基于MEMS微波功率傳感技術的微波頻率檢測器的研究
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550. 基于MEMS矢量水聽器的信號處理與DOA估計
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