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521. 基于MEMS技術的集成LED微陣列器件研究

522. MEMS溫度傳感器中ICP刻蝕技術研究

523. 盤結構電容式MEMS諧振器相關性能研究

524. 基于MEMS加速度傳感器的步態(tài)識別

525. 低功耗MEMS熱式風速風向傳感器的研究

526. MEMS系統(tǒng)中微平板結構聲振耦合性能研究

527. 基于MEMS陀螺儀隨機漂移誤差補償?shù)难芯?

528. 沖擊環(huán)境下MEMS器件的彈性限位塊設計（英文）

529. 基于MEMS傳感技術的航姿系統(tǒng)算法研究

530. 基于MEMS慣性器件的油井測斜技術研究