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511. 基于ZnO壓電薄膜的柔性MEMS超聲波換能器
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512. 石英MEMS傳感器芯片與盒蓋封裝的熱應(yīng)力分析
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513. 一種新的硅MEMS陀螺儀四相位閉環(huán)集成驅(qū)動電路
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514. 大量程閉環(huán)MEMS加速度計非線性分析與優(yōu)化法
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515. 基于支持度和自適應(yīng)加權(quán)的MEMS陀螺信息融合算法
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516. MEMS振蕩器的溫度補(bǔ)償和低噪聲頻率合成特性
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517. 電磁式MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡的建模與閉環(huán)控制研究
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518. 基于MEMS與智能手機(jī)電子羅盤的室內(nèi)定位與導(dǎo)航算法研究
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519. 基于Parylene封裝的“棒棒糖式”MEMS矢量水聽器
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520. 沖擊載荷下MEMS微加速度計的結(jié)構(gòu)可靠性研究
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