本文關(guān)鍵詞：一種新的硅MEMS陀螺儀四相位閉環(huán)集成驅(qū)動電路

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【摘要】：微機械陀螺的閉環(huán)驅(qū)動電路中通常采用兩相位同頻信號維持驅(qū)動環(huán)路諧振,但系統(tǒng)引入誤差較大。提出了一種新的硅微機械陀螺四相位驅(qū)動系統(tǒng),將四相位半頻驅(qū)動電壓加載到具有四組驅(qū)動電極的結(jié)構(gòu)上,使系統(tǒng)維持在諧振頻率上。采用該驅(qū)動電路,耦合到輸出端的干擾信號為諧振頻率的一半,只需采用適當?shù)母咄V波器即可消除干擾信號對輸出的污染,同時提高了系統(tǒng)的信噪比。采用0.5μm CMOS工藝進行設(shè)計,版圖尺寸約為2.8mm×2.8mm,測試結(jié)果表明該四相位驅(qū)動電路能很好地滿足陀螺系統(tǒng)驅(qū)動模態(tài)維持諧振的要求。
【作者單位】： 華東光電集成器件研究所;
【關(guān)鍵詞】： MEMS陀螺儀 四相位驅(qū)動 角速度檢測 鎖相環(huán) 信噪比
【基金】：國家核高基基金資助項目(2014ZX01021101-002)
【分類號】：TN432;TP212
【正文快照】： 1引言微機械陀螺自1980年問世以來,就是一種相對新型的慣性傳感器。這些傳感器的性能參數(shù)從1990年到2000年,每隔2年就提高10倍,但最近幾年,當陀螺零偏穩(wěn)定性達到10°/h以后,發(fā)展速度有所放慢。相比傳統(tǒng)傳感器,MEMS振動陀螺具有體積小、重量輕、成本低等特點,這使得MEMS陀螺儀

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本文編號：901817