發(fā)布時間：2017-09-08 22:22

  本文關(guān)鍵詞：基于ZnO壓電薄膜的柔性MEMS超聲波換能器

  更多相關(guān)文章： 壓電式 射頻磁控濺射 氧化鋅薄膜 柔性超聲波器件 壓電薄膜表征

【摘要】：該文提出一種柔性的微機電系統(tǒng)(MEMS)超聲波器件。該器件由下電極、ZnO薄膜、上電極及聚酰亞胺柔性基底構(gòu)成。其制作過程簡單,采用直流磁控濺射制作上、下電極,反應(yīng)射頻磁控濺射制作氧化鋅壓電薄膜。薄膜間粘合牢固,可反復(fù)彎折。SEM和XRD結(jié)果表明,氧化鋅薄膜厚度可達4~8μm,具有高度(002)擇優(yōu)取向的柱狀晶結(jié)構(gòu)。根據(jù)XRD所得的結(jié)果計算了薄膜平均晶粒尺寸和內(nèi)應(yīng)力大小,結(jié)果表明,晶粒尺寸約為22nm,薄膜內(nèi)壓應(yīng)力約為-1.248 4GPa。利用激光多普勒測得其共振頻率約為5MHz。同時,研究發(fā)現(xiàn),較厚的ZnO薄膜使振幅變大,導(dǎo)致振動品質(zhì)因數(shù)(Q)值增加。
【作者單位】： 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院智能機械研究所;中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機械與儀器系;合肥工業(yè)大學(xué)宣城校區(qū)機械系;
【關(guān)鍵詞】： 壓電式 射頻磁控濺射 氧化鋅薄膜 柔性超聲波器件 壓電薄膜表征
【基金】：國家自然基金面上基金資助項目(61176105) 青年基金資助項目(61306146) 中科院“百人計劃”擇優(yōu)基金項目資助
【分類號】：TB552
【正文快照】： 0引言基于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的超聲換能器相比于傳統(tǒng)宏觀的超聲換能器具有體積小,易陣列化、集成化,易于IC工藝兼容等特點。近年來,MEMS超聲換能器用于超聲成像[1-2],指紋識別[3],傳感[4-5],無損探測[6-7]等領(lǐng)域的研究正成為熱點。目前,基于MEMS技術(shù)的超聲波換能器(MUT)可

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5 T3朗;杝炳，

本文編號：816657