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401. 小量程MEMS電容式壓力傳感器設計與工藝研究

402. 高功率容量電容式RF MEMS開關失效機理研究

403. 基于MEMS技術的質點振速傳感器的研制

404. 基于MEMS輔助的單基線北斗融合測姿算法

405. 基于MEMS掃描激光器的光纖光柵解調儀軟件設計

406. 基于CEEMDAN小波包的MEMS水聽器信號去噪

407. 基于捷聯慣導系統(tǒng)的MEMS陀螺儀信號降噪

408. 基于柔性止動的MEMS慣性開關沖擊可靠性強化

409. 引信用MEMS微執(zhí)行器設計及加工方法的研究

410. 基于MEMS技術懸臂梁陣列式脈搏傳感器研究