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321. 非硅MEMS器件微裝配系統(tǒng)的動靜態(tài)特性分析
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322. 用于細胞導(dǎo)入的MEMS聚焦超聲波器件的研究
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323. 基于MEMS技術(shù)的柔性多觸點深部腦刺激電極研制
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324. 引信用MEMS微驅(qū)動器的設(shè)計與仿真分析
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325. 一種防傾斜MEMS平行板靜電執(zhí)行器（英文）
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326. 引信用MEMS萬向慣性開關(guān)的結(jié)構(gòu)設(shè)計與優(yōu)化
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327. 表面粘貼式MEMS應(yīng)變傳感器的應(yīng)變傳遞分析
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328. 一種低噪聲MEMS加速度計設(shè)計與制作
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329. 基于物聯(lián)網(wǎng)的MEMS加速度計測試分析系統(tǒng)設(shè)計
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330. 飛行器動力學(xué)信息輔助MEMS慣導(dǎo)系統(tǒng)
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