本文關鍵詞：一種防傾斜MEMS平行板靜電執(zhí)行器（英文）

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【摘要】：首先簡短地敘述了雙端固支平行板靜電執(zhí)行器存在的傾斜問題,該問題會降低其可靠性并且減少其行程,從而限制它的應用范圍。為了克服這個問題和提升該類執(zhí)行器的性能,提出了一種新型的防傾斜MEMS平行板靜電執(zhí)行器結(jié)構(gòu),在實現(xiàn)防傾斜作用的同時獲得了較大的行程。設計時對上極板的對稱S型梁結(jié)構(gòu)和分離的下電極結(jié)構(gòu)進行了理論計算和仿真分析�；谏虡I(yè)表面微細加工工藝PolyMUMPs加工了樣品并利用白光干涉儀進行了實驗測試。該執(zhí)行器可得到1.92μm的行程且不會發(fā)生傾斜,特別適合應用于微變形鏡器件。
【作者單位】： 中國科學院光電技術研究所微細加工光學技術國家重點實驗室;電子科技大學光電信息學院;
【關鍵詞】： 執(zhí)行器 靜電 平行板 行程 防傾斜
【基金】：National Natural Science Foundation of China(11403029) Youth Innovation Promotion Association CAS(2014346)
【分類號】：TH703
【正文快照】： MEMS　parallel-plate　actuator　is　depicted　in　Fig.1,0　Introductionwhich　is　composed　of　an　upper　electrode　and　a　Actuators　are　the　key　devices　in　MEMS　systemlower　electrode.The　upper　electrode　is　a　fixed-for　transforming　the　

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