本文關(guān)鍵詞：一種低噪聲MEMS加速度計(jì)設(shè)計(jì)與制作

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【摘要】：為了提高微加速度計(jì)的噪聲性能,研究了一種基于絕緣體上硅(SOI)技術(shù)的單軸MEMS加速度計(jì)的設(shè)計(jì)和加工方案。該微加速度計(jì)采用大面積質(zhì)量塊的電容式檢測(cè)結(jié)構(gòu),通過(guò)增加檢測(cè)質(zhì)量,在保證靈敏度的前提下,有效地降低了微加速度計(jì)的機(jī)械布朗噪聲,增強(qiáng)了信噪比。另外,該微加速度計(jì)采用一種基于Al保護(hù)層的MEMS SOI工藝技術(shù)制造,有利于提高微加速度計(jì)的整體精度水平。測(cè)試結(jié)果表明:微加速度計(jì)的本底噪聲為20μgn/√Hz,靈敏度為2.5 V/gn。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)空天微納教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61273052)
【分類(lèi)號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 0引言微加速度計(jì)是一類(lèi)重要的MEMS傳感器。相比于傳統(tǒng)加速度計(jì),其具有體積小、功耗低等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于汽車(chē)安全、消費(fèi)電子、航空航天慣性導(dǎo)航等領(lǐng)域[1]。隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了多種原理的微加速度計(jì),包括諧振式微加速度計(jì)[2]、壓阻式微加速度計(jì)[3]、熱對(duì)流式微加速度計(jì)[4

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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1 杜煒強(qiáng);;M6加速度計(jì)的自診斷系統(tǒng)[J];火箭推進(jìn);2002年06期

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3 熊V，

本文編號(hào)：1160698