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241. MEMS微橋結(jié)構(gòu)設(shè)計與光刻工藝參數(shù)優(yōu)化
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242. 基于MEMS數(shù)字麥克風(fēng)陣列的聲源定位系統(tǒng)
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243. 基于正交誤差對準(zhǔn)的MEMS陀螺測控電路設(shè)計
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244. 基于MEMS技術(shù)的集成LED微陣列器件研究
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245. MEMS溫度傳感器中ICP刻蝕技術(shù)研究
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246. 盤結(jié)構(gòu)電容式MEMS諧振器相關(guān)性能研究
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247. 基于MEMS加速度傳感器的步態(tài)識別
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248. 低功耗MEMS熱式風(fēng)速風(fēng)向傳感器的研究
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249. MEMS系統(tǒng)中微平板結(jié)構(gòu)聲振耦合性能研究
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250. 基于MEMS陀螺儀隨機漂移誤差補償?shù)难芯?
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