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131. 基于MEMS的皮拉尼真空壓力計(jì)研究
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132. MEMS數(shù)字陀螺中開(kāi)關(guān)電容檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)
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133. 基于MEMS器件的航向姿態(tài)測(cè)量系統(tǒng)的研究
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134. 新型雙驅(qū)動(dòng)RF MEMS開(kāi)關(guān)機(jī)電特性分析
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135. 基于MEMS傳感器的手勢(shì)識(shí)別算法研究
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136. 基于均勻設(shè)計(jì)的MEMS陀螺溫度標(biāo)定試驗(yàn)設(shè)計(jì)
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137. 可剛性固定MEMS矢量水聽(tīng)器的設(shè)計(jì)
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138. MEMS慣性器件誤差分析與補(bǔ)償方法研究
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139. MEMS晶圓級(jí)測(cè)試系統(tǒng)現(xiàn)狀及未來(lái)展望
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140. MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡溫度效應(yīng)的仿真分析
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