本文關(guān)鍵詞：低功耗微型磁通門的制備與分析

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【摘要】：針對微型磁通門傳感器降低功耗的要求,利用標準MEMS工藝制備了具有多孔結(jié)構(gòu)鐵芯的微型磁通門傳感器。經(jīng)過對器件的測試與分析,這一結(jié)構(gòu)的鐵芯能夠降低器件功耗,提高傳感器的整體性能。通過比較不同多孔鐵芯對磁通門最佳激勵電流的影響,綜合考慮器件性能和制備工藝的要求,確定了最佳的設(shè)計參數(shù)。
【作者單位】： 河南理工大學(xué)電氣工程與自動化學(xué)院;西北工業(yè)大學(xué)電子信息學(xué)院;焦作師范高等�？茖W(xué)校理工學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 多孔鐵芯 微型磁通門 MEMS 低功耗
【基金】：高等學(xué)校博士學(xué)科點專項科研基金項目(20126102110031)
【分類號】：TP212
【正文快照】： 磁通門傳感器是一種具有良好綜合性能的弱磁場測量器件[1],在航空航天、地球物理、生物磁場檢測等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。得益于近年來MEMS(Micro Electro-Mechanical Systems)技術(shù)的提高,微型磁通門因其尺寸小,易于集成的優(yōu)點逐漸受到關(guān)注。微型磁通門雖然縮減了器件的尺寸,但由

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本文編號：554074