羅躍生, 導師:談振藩,硅微型陀螺儀的力學分析和數(shù)學模型
本文關鍵詞:硅微型陀螺儀的力學分析和數(shù)學模型,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
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文獻名稱:硅微型陀螺儀的力學分析和數(shù)學模型
前言:硅微型振動陀螺儀是隨著微電子技術和微機械加工技術的發(fā)展而研制出的一類新型角速率傳感器。這類陀螺儀在工作時,用微幅振動代替高速旋轉,從而使它可以具有體積小,重量輕以及成本低,可靠性高,易于批量生產(chǎn)和便于與電子線路集成等傳統(tǒng)陀螺儀無法比擬的優(yōu)點。預計在以后的幾年里這類新型角速率傳感器——硅微型振動陀螺儀——也會作為一種成熟的產(chǎn)品廣泛的應用于軍用和民用的許多領域。 陀螺儀性能的好壞直接制約著它的用途。因此,如何提高硅微型振動陀螺儀的精度,是它走向市場首要解決的問題。而要提高硅微型振動陀螺儀的精度,首先要掌握硅微型振動陀螺儀的工作機理。為此本文研究了幾種典型的硅微型振動陀螺儀的基本運動規(guī)律,,建立了相應的數(shù)學模型,最后分析了它們的工作規(guī)律。其主要工作(創(chuàng)新點)歸納如下: 1.研究了硅微型梳狀線振動驅動式陀螺儀的基本結構,詳細討論了它的工作原理。利用牽連運動的加速度合成定理,通過嚴格的力學分析和嚴密的數(shù)學演算首先得到其活動質量當陀螺儀在慣性坐標系中作定常角速度轉動時的加速度表達式。并利用牛頓力學定律推導了硅微型梳狀線振動驅動式陀螺儀工作時所滿足的精確的微分方程模型。而且在不同情況下對數(shù)...
Silicon micromechanical vibration gyroscopes are a new kind of sensors for measuring the inertial angular velocity and they have been developed with the microelectronic technology and micromaching technology. Owning to using of the microamplitude vibration instead of high-speed rotation, the new sensors have many advantages over the conventional gyroscopes, such as smaller size, less weight, lower cost, higher reliability, being able to be produced in batch and to be integrated with electronic circuits, and...
文獻名稱 硅微型陀螺儀的力學分析和數(shù)學模型
Article Name
英文(英語)翻譯
Dynamic Analysis and Mathematical Model of Silicon Micromechanical Vibration Gyroscope;
作者 羅躍生; 導師:談振藩;
Author
作者單位
Author Agencies
哈爾濱工程大學;
文獻出處
Article From
中國科學院上海冶金研究所; 材料物理與化學(專業(yè)) 博士論文 2000年度
關鍵詞 硅微陀螺儀; 微分方程模型; 加速度合成定理; 牛頓力學定律; 歐拉動力學方程; 硅微型梳狀線振動驅動式陀螺儀; 振動輪式微機械陀螺儀; 音叉式(梳狀)線振動硅微陀螺儀; 框架式硅微角振動陀螺儀; 內框驅動雙框架式硅微角振動陀螺儀;
Keywords micromechanical silicon gyroscopes;differential equation model;composition theorem of acceleration;Newton's mechanics laws;Euler's dynamics equation;lateral comb drive micromechanical silicon gyrosc
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本文關鍵詞:硅微型陀螺儀的力學分析和數(shù)學模型,由筆耕文化傳播整理發(fā)布。
本文編號:65540
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