本文設(shè)計(jì)了一種新的三維自適應(yīng)迎風(fēng)穩(wěn)定化有限元方法（SUPG-IP）,并對比研究了幾種半導(dǎo)體器件模擬的并行有限元方法.數(shù)值模擬結(jié)果表明:穩(wěn)定化有限元方法適用于大偏壓以及高摻雜器件模擬;而經(jīng)典的Zlamal有限元方法更適用于計(jì)算半導(dǎo)體器件的電學(xué)響應(yīng)曲線.我們基于三維并行自適應(yīng)有限元平臺PHG開發(fā)了半導(dǎo)體器件漂移擴(kuò)散模型求解器DevSim,并對幾種典型的半導(dǎo)體器件進(jìn)行了模擬測試.計(jì)算結(jié)果與商業(yè)軟件Sentaurus吻合較好,驗(yàn)證了算法的有效性.我們對PN結(jié)進(jìn)行了超大規(guī)模網(wǎng)格并行模擬測試,網(wǎng)格達(dá)8億單元并使用2048進(jìn)程計(jì)算,展示了算法良好的并行可擴(kuò)展性. 

【文章來源】：數(shù)值計(jì)算與計(jì)算機(jī)應(yīng)用. 2020,41(02)

【文章頁數(shù)】：20 頁

【部分圖文】：

圖３?ＰＮ結(jié)“電流－電壓”?＿??標(biāo)??坐??Ｓ謙??坐角??直??（．ａ）??曲??

圖６?Ｎ－ＭＯＳＦＢｆ電學(xué)響應(yīng)特性曲線ｔ?（ａ）源漏偏壓固定為Ｖｎ?＝?１?Ｖ，漏極電流隨柵極電壓變化曲線??

圖１?ＰＮ結(jié)結(jié)構(gòu)圖；ａ）橫切面版圖；（ｂ）縱剖面結(jié)構(gòu)示意圖．??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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