相控陣天線（phased array antenna）是相控陣雷達的重要組成部分,相控陣天線的電掃方式具有掃描速度快、掃描精度高等優(yōu)點。移相器是控制相控陣天線進行相位掃描的關鍵部件,基于鐵氧體材料、PIN結二極管、FET開關的傳統(tǒng)移相器因損耗等問題難以向高頻段發(fā)展,射頻微機電系統(tǒng)（Radio Frequency Micro-Electro Mechanical System,RF MEMS）技術的出現為解決這一難題提供了方法。RF MEMS開關具有諸多優(yōu)點,例如插入損耗低、隔離度高,將RF MEMS開關應用到移相器中,再把MEMS移相器應用到相控陣天線中,可以提高相控陣天線的性能。本論文設計了一種背靠背多層堆疊結構的MEMS移相器的相控陣天線單元,此結構的優(yōu)點是減小天線輻射單元和移相器所占空間大小,做到小型化;天線輻射單元和MEMS移相器不在同一側,提高了天線輻射單元的輻射性能。本論文首先對天線輻射單元進行建模和仿真。然后對接地共面波導（GCPW）進行建模和仿真,并得到良好的射頻性能;接著對MEMS移相器的其它組成部件分別進行建模和仿真,并將各個部件結合起來,進行一位MEMS移相器的建... 

【文章來源】：貴州大學貴州省 211工程院校

【文章頁數】：79 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

AN/FPS-85相控陣雷達天線

Michigan 大學研制的一種新型雙端固定是開關的掃描電鏡圖像，金屬膜厚度為 6000 ，吊在中心導體間隙兩側的接觸墊上方 2.5μm 處下拉極板結構時測得的S參數。該開關隔離度優(yōu)0dB@DC～20GHz，金屬膜高 1.5～2.5μm，下拉電隔離度的通信系統(tǒng)和雷達領域中。

結構和懸臂梁式。雖然 RFMEMS 開關種類繁多，但是應用最廣泛的是靜電驅的電容式開關和電阻式開關。如圖 1.4 所示，典型的串聯接觸式 RFMEMS 開關示意圖。開關主要結構上下極板，外加驅動電壓后，上極板向下運動與下極板接觸，信號導通；撤去動電壓，上極板恢復原狀，信號截止。

【參考文獻】：
期刊論文
[1]微電子機械系統(tǒng)在相控陣天線中的應用[J]. 張光義,趙玉潔.  電子機械工程. 2004(06)
[2]高介電常數介質RF MEMS開關的制作研究[J]. 雷嘯鋒,劉澤文,宣云,李志堅,劉理天.  測控技術. 2004(03)



本文編號：2936141