本文選題：多尺度納米刻蝕 + 金碗-金豆(PIC)��； 參考：《微納電子技術》2017年03期

【摘要】：金屬納米結(jié)構表現(xiàn)出獨特的光電效應,在表面等離激元器件、超分辨光學成像、全光集成等領域有廣泛應用。針對一種有實際需求的金碗-金豆(PIC)高分辨納米腔的研制,提出了基于室溫納米壓印技術,結(jié)合多參數(shù)各向異性刻蝕技術,研究并解決金碗-金豆多尺度納米結(jié)構加工中關鍵工藝技術問題。利用雙層抗刻蝕劑硅水合物(HSQ)/聚丙烯酸甲酯-聚苯乙烯嵌段共聚物(PMMA-b-PS)在刻蝕工藝中的物化性能轉(zhuǎn)變和差異,發(fā)展了多參數(shù)刻蝕技術,構造出了直徑120 nm漸變的碗形金屬結(jié)構,同步制備了每個碗中只含一個直徑約20 nm金豆,有效避免了刻蝕工藝中納米顆粒的側(cè)向堆積,提高了器件實際應用品質(zhì)。
[Abstract]:Metal nanostructures exhibit unique optoelectric effects. They are widely used in surface isobaric devices, super-resolution optical imaging, all-optical integration and so on.In view of the development of a kind of high-resolution nano-cavity with practical requirement, a new kind of high-resolution nano-cavity based on room temperature nano-imprint and multi-parameter anisotropic etching was proposed.To study and solve the key technical problems in the multi-scale nanostructure fabrication of Jinwan-Jindou.Based on the change and difference of physicochemical properties of double layer etching agent silicon hydrate / polymethyl acid-polystyrene block copolymer (PMMA-b-PS) in the etching process, a multi-parameter etching technique was developed, and a 120nm structure of the bowl-shaped metal was constructed.Each bowl contains only one diameter of about 20 nm, which effectively avoids the lateral accumulation of nanoparticles in the etching process and improves the practical application quality of the device.
【作者單位】： 中國計量科學研究院;清華大學清華-富士康納米科技研究中心;
【基金】：國家質(zhì)量基礎的共性技術研究與應用資助項目(2016YFF0200602) 國家納米科技重點研發(fā)計劃資助項目(2016YFA0200901)
【分類號】：TN820.15

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本文編號：1734663