疊層方式形成彩色濾光片隔墊物的研究
發(fā)布時(shí)間:2018-02-02 01:51
本文關(guān)鍵詞: 彩色濾光片 疊層隔墊物 形貌追隨型平坦化材料 出處:《液晶與顯示》2017年12期 論文類型:期刊論文
【摘要】:本文研究了液晶顯示面板彩色濾光片工藝中以疊層方式形成隔墊物的關(guān)鍵技術(shù)問題,即疊層隔墊物高度控制、主-附隔墊物段差的形成和主-附隔墊物段差受后續(xù)平坦層工藝的影響變化等,并提出了解決方案。在黑矩陣、紅色、綠色、藍(lán)色濾光層形成一定的疊層高度后,采用形貌追隨型平坦化材料對像素區(qū)平坦,通過控制像素開口部分OC的厚度,可以實(shí)現(xiàn)疊層隔墊物高度的控制。采用改變疊層圖案設(shè)計(jì)的方法形成主-副隔墊物高度差(Main-sub段差),段差達(dá)成范圍是0.4~1.2μm,達(dá)到了灰階曝光方式可以達(dá)到段差的水平,但成本卻大幅降低。并且驗(yàn)證了采用形貌追隨型OC材料覆蓋可以較好的保持OC工藝前形成的Main-sub段差;谝陨霞夹g(shù)制備了4 Mask彩色濾光片原型機(jī)。
[Abstract]:In this paper , the key technology of forming spacer is studied in the color filter process of liquid crystal display panel .
【作者單位】: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司技術(shù)研發(fā)中心;
【基金】:京東方科技集團(tuán)股份有限公司研發(fā)項(xiàng)目基金(No.2013013)~~
【分類號】:TN873.93
【正文快照】: 現(xiàn)有的薄膜晶體管液晶顯示面板(TFT-LCD)[1-2]是由包含有薄膜晶體管的陣列基板與包含有黑矩陣以及彩色濾色層的濾光片基板對準(zhǔn)粘結(jié)而得到。其中陣列基板作為像素開關(guān)控制液晶偏轉(zhuǎn),彩色濾光片負(fù)責(zé)提供顏色。彩色濾光片通常包括以下幾層:氧化銦錫、黑矩陣、紅綠藍(lán)綠色層、平坦層
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