提出一種基于Si₃N₄/SiN_x/Si₃N₄三明治結(jié)構(gòu)多模干涉波導(dǎo)的偏振無關(guān)1×2解復(fù)用器,用于分離1310和1550 nm兩個(gè)波長.通過合理選擇三明治結(jié)構(gòu)中間層Si Nx的折射率,可以調(diào)節(jié)同一波長兩個(gè)正交偏振態(tài)的拍長相等,實(shí)現(xiàn)偏振無關(guān);根據(jù)多模干涉原理,通過合理選擇多模干涉波導(dǎo)的長度與寬度,可以使兩個(gè)波長的輸出像點(diǎn)分別成正像和反像,實(shí)現(xiàn)解復(fù)用功能.運(yùn)用三維有限時(shí)域差分法進(jìn)行建模仿真,對結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化,并對器件關(guān)鍵結(jié)構(gòu)參數(shù)的制作容差進(jìn)行了分析.結(jié)果表明:該器件多模干涉波導(dǎo)的尺寸為4.6μm×227.7μm,插入損耗低至0.18 d B,輸出波導(dǎo)間的串?dāng)_低至–25.7 d B, 3 d B帶寬可達(dá)60 nm.另外,本文提出的器件采用Si₃N₄/SiO₂平臺,可有效減小波導(dǎo)尺寸,提高集成度,不僅實(shí)現(xiàn)了偏振無關(guān),而且結(jié)構(gòu)緊湊、損耗低,在未來的集成光路中具有潛在的應(yīng)用價(jià)值.

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本文編號：4024175