偏振成像提供人類視覺系統(tǒng)無法察覺的偏振信息。當前高分辨率下的偏振成像傳感器可以實現(xiàn)從線偏振光中提取一系列完整的偏振特性,同時得到目標物更多的偏振信息。偏振片是偏振成像技術的重要組成部分,可實現(xiàn)入射光的遮蔽和透射。隨著微納加工技術的不斷發(fā)展,亞波長金屬光柵已被證明是具有良好偏振特性的光學元件。這種偏振光柵由于其體積小、易于集成,在偏振成像等領域有廣闊的應用前景。本文主要利用電子束曝光技術與聚焦離子束刻蝕技術制備偏振光柵微陣列,并研究其偏振特性。首先,本文概述了偏振光柵微陣列的研究背景及意義、目前的研究和發(fā)展現(xiàn)狀,以及課題主要研究內(nèi)容,并對分析偏振光柵偏振特性的等效介質(zhì)理論和設計偏振光柵結(jié)構(gòu)的斯托克斯理論進行了論述。其次,在工藝制造方面,本文主要介紹了電子束曝光技術與聚焦離子束刻蝕技術。詳細介紹了電子束曝光系統(tǒng),并分析了電子束曝光技術的工作原理、制造工藝和參數(shù)設置,以及各參數(shù)之間的相互作用與影響,總結(jié)了感應耦合等離子體刻蝕技術的工作原理、工藝流程和影響因素。并利用電子束曝光技術制備不同周期的偏振光柵微陣列、同周期不同曝光劑量的偏振光柵微陣列。同時,采用原子力顯微鏡與掃描電鏡對偏振光柵微陣列... 

【文章頁數(shù)】：57 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 引言
    1.2 偏振光柵微陣列研究現(xiàn)狀
        1.2.1 國內(nèi)研究現(xiàn)狀
        1.2.2 國外研究現(xiàn)狀
    1.3 課題主要研究內(nèi)容
第2章 鋁金屬光柵的偏振特性理論與結(jié)構(gòu)設計
    2.1 光柵的偏振特性
        2.1.1 等效介質(zhì)理論
        2.1.2 偏振光柵微陣列的結(jié)構(gòu)設計
    2.2 本章小結(jié)
第3章 電子束——ICP刻蝕技術制備偏振光柵微陣列
    3.1 電子束-ICP刻蝕技術制造光柵結(jié)構(gòu)
    3.2 電子束曝光工藝
        3.2.1 電子束曝光概述
        3.2.2 電子束曝光工藝的主要流程
        3.2.3 實驗結(jié)果分析
        3.2.4 電子束曝光工藝參數(shù)的影響
    3.3 ICP刻蝕工藝
        3.3.1 ICP刻蝕工藝概述
        3.3.2 ICP刻蝕工藝的主要流程
        3.3.3 實驗結(jié)果分析
        3.3.4 ICP刻蝕工藝參數(shù)的影響
    3.4 原子力顯微鏡表征偏振光柵微陣列
        3.4.1 原子力顯微鏡簡介
        3.4.2 實驗步驟
        3.4.3 實驗結(jié)果分析
    3.5 本章小結(jié)
第4章 聚焦離子束刻蝕技術制備偏振光柵微陣列
    4.1 聚焦離子束刻蝕工藝
        4.1.1 聚焦離子束刻蝕概述
        4.1.2 聚焦離子束刻蝕主要流程
        4.1.3 實驗結(jié)果分析
    4.2 聚焦離子束刻蝕工藝參數(shù)的影響
    4.3 本章小結(jié)
第5章 偏振光柵微陣列的性能檢測及分析
    5.1 引言
    5.2 偏振光柵微陣列性能檢測
    5.3 光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)對偏振性能的影響
        5.3.1 深寬比對偏振性能的影響
        5.3.2 周期對偏振性能的影響
        5.3.3 曝光劑量對偏振性能的影響
        5.3.4 相位對偏振性能的影響
    5.4 本章小結(jié)
第6章 總結(jié)與展望
    6.1 總結(jié)
    6.2 展望
參考文獻
攻讀學位期間取得的成果
致謝


【參考文獻】：
期刊論文
[1]基于像素偏振片陣列的實時動態(tài)相位測量技術[J]. 張志剛,董鳳良,程騰,仇康,張青川,褚衛(wèi)國,伍小平.  中國科學:技術科學. 2015(05)
[2]像素偏振片陣列制備及其在偏振圖像增強中的應用[J]. 張志剛,董鳳良,張青川,褚衛(wèi)國,仇康,程騰,高杰,伍小平.  物理學報. 2014(18)
[3]大有前途的電子束光刻技術[J]. 楊紅瑤.  科技資訊. 2012(31)
[4]基于偏振特性的偽裝目標檢測方法研究[J]. 劉曉,王峰,薛模根.  光學技術. 2008(05)
[5]基于偏振特征的目標檢測[J]. 趙永強,張洪才,潘泉.  量子電子學報. 2003(06)
[6]聚焦離子束（FIB）技術及其在微電子領域中的應用[J]. 劉立建,謝進,王家楫.  半導體技術. 2001(02)
[7]聚焦離子束（FIB）刻蝕在光電子器件方面的應用[J]. 畢建華,陸家和.  真空科學與技術. 1994(04)

博士論文
[1]分孔徑同時偏振成像光學系統(tǒng)的研究[D]. 賀虎成.蘇州大學 2014
[2]亞波長光柵偏振和濾光器件設計與制備[D]. 周云.蘇州大學 2013

碩士論文
[1]偏振光斯托克斯參量的分振幅測量系統(tǒng)的設計與實驗研究[D]. 徐曉姍.浙江大學 2011
[2]一種仿生大氣偏振信息傳感陣列研究[D]. 王苗欣.合肥工業(yè)大學 2011



本文編號：3692686