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用于同步輻射X射線光束診斷的多晶CVD金剛石探測(cè)器研制

發(fā)布時(shí)間:2020-08-12 22:51
【摘要】:同步輻射裝置是大型綜合多學(xué)科科研裝置,支撐著與國(guó)家工業(yè)核心技術(shù)、創(chuàng)新能力相關(guān)的科學(xué)研究。目前,同步輻射光源已成為了眾多學(xué)科領(lǐng)域必不可少的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。同步輻射裝置的三大部分為:光源、光束線和實(shí)驗(yàn)站。同步輻射X射線探測(cè)器作為實(shí)驗(yàn)站的核心,是實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)收集和X射線光束診斷的關(guān)鍵設(shè)備,探測(cè)器在同步輻射實(shí)驗(yàn)中占有不可替代的地位。本文開(kāi)展了以多晶CVD金剛石為材料用于同步輻射X射線診斷的探測(cè)器研制。本文研制的金剛石探測(cè)器,是一種透射型的四象限探測(cè)器,可以位于實(shí)驗(yàn)樣品和光源之間,實(shí)現(xiàn)對(duì)同步輻射X射線光強(qiáng)和光斑位置的同時(shí)監(jiān)測(cè),并為光束診斷提供反饋信息。探測(cè)器的四象限電極通光刻完成制作,電極為100 nm厚的金屬鋁,電極間距20?m。最后將金剛石安裝在電路板上,完成封裝。該金剛石探測(cè)器在北京同步輻射裝置生物大分子實(shí)驗(yàn)站完成了測(cè)試,對(duì)探測(cè)器的主要性能進(jìn)行了表征。測(cè)試結(jié)果表明,該金剛石探測(cè)器的電接觸良好,金屬電極和金剛石可以形成準(zhǔn)歐姆接觸,歐姆接觸的電壓區(qū)間為-20 V~20 V,工作電壓下的暗電流約20 pA,光強(qiáng)監(jiān)測(cè)的測(cè)量精度為0.2%,位置分辨能力可以到達(dá)1?m。該探測(cè)器能夠滿足同步輻射X射線光束診斷的需求。
【學(xué)位授予單位】:鄭州大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2018
【分類號(hào)】:O434.1
【圖文】:

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同步輻射裝置原理示意圖

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第一代光源北京同步輻射裝置光束線分布示意圖

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X射線穿過(guò)物質(zhì)時(shí)的作用

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào):2791131

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