鈉金屬等離激元:制備,特性及應(yīng)用
【學(xué)位授予單位】:南京大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2019
【分類號(hào)】:TB383.1;O441
【圖文】:
一1.1引言逡逑在過去的幾十年里,信息處理的速度隨著微電子和納米電子器件尺寸的減小逡逑速增長。然而,研究人員在使用這種縮放方法達(dá)到幾十吉赫茲以上速度時(shí)面臨逡逑著困難,相比之下,光子學(xué)能夠提供太赫茲范圍內(nèi)的帶寬[1]。傳統(tǒng)的光子元件,逡逑如光纖,由于衍射極限限制,需要的物理尺寸與光的波長(大約一微米)在一個(gè)逡逑量級(jí)。納米尺度電子器件和微米尺度光子元件在物理尺寸上的差異導(dǎo)致了這兩種逡逑器件之間的不兼容性。等離激元融合了光子學(xué)提供的高帶寬和納米電子學(xué)提供的逡逑納米集成,將光子能量與自由電子氣體耦合,形成一種亞波長振蕩模式。由于等逡逑離激元器件能夠突破亞波長限制,因此等離激元成為納米光子學(xué)研究領(lǐng)域的基礎(chǔ)逡逑(圖].1邋)邋[2]0逡逑PH/-'逡逑
為了減小光學(xué)特性對(duì)入射角的依賴性,在基于高吸收媒介的納米腔中使逡逑用折射率高、千涉效應(yīng)強(qiáng)的材料來減少對(duì)結(jié)構(gòu)的折射,金屬納米結(jié)構(gòu)中的相位補(bǔ)逡逑償和局域共振被廣泛研究[36]。我們利用圖1.4的反射式顏色設(shè)計(jì)來闡述原理[37丨逡逑5逡逑
邋邐m.y逡逑圖1.4邐(a)反射式F-P顏色濾波器原理圖;(b)不同SisN4厚度(d邋=邋108,80和54邋rnn)逡逑時(shí),實(shí)驗(yàn)測得的CMY顏色濾波器的反射光譜;(c)CMY顏色器件的SEM和光學(xué)照片,器件尺逡逑寸約邋2邋cmX2邋cm丨37|逡逑圖1.4a描述了利用F-P共振的原理圖氮化硅(Si3N4)和銀(Ag)分別作為逡逑腔體媒介和反射鏡。在結(jié)構(gòu)色顏色濾波器設(shè)計(jì)中,銀作為金屬鏡被廣泛選用,因逡逑為其在可見光頻率下具有低的吸收損耗。通過選擇一個(gè)合適的腔長度(d)來產(chǎn)逡逑生F-P共振,其波長與紅色、綠色或藍(lán)色(RGB)的顏色相對(duì)應(yīng),其互補(bǔ)色青色、逡逑品紅或黃色(CMY)可以很容易地在反射光中獲得。圖1.4b展示了不同Si3N4厚逡逑度(C:邋108nm、M:邋8(him和Y:邋54nm)來制備CMY濾波器的實(shí)驗(yàn)測量反射光譜逡逑圖,同時(shí)頂部(20邋nm)和底部(150邋nm)銀層的厚度是相同的。樣品的橫截面逡逑掃描電子顯微鏡(SEM)圖像和光學(xué)圖像如圖1.4.C所示。逡逑■IM邋1邐m逡逑b邋?邐逡逑IIWl—B?逡逑?邐d邋,邋<f邐___邋邐逡逑■逡逑?邐:邐m邋i逡逑Incident邋angle邋(deg)逡逑圖1.5邐(a)邋F-P腔結(jié)構(gòu)原理圖,入射和折射角分別為?,和&:邐(b)模擬(曲線)和實(shí)驗(yàn)逡逑(點(diǎn))結(jié)果表明,器件的共振波長隨入射角的改變而變化,這里器件的介電腔材料分別為逡逑Si02、SisN4和ZnSe。(c-e)邋ZnSe腔的CMY顏色濾波器光學(xué)圖
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本文編號(hào):2747354
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