【摘要】：為了驗證多層衍射光學元件的衍射效率隨入射角度的理論變化關系,設計并制作了一個含有多層衍射光學元件(MLDOEs)的光學系統(tǒng)。當次級衍射光通過孔徑光闌由探測器接收時,為保證衍射效率的測量精度,提出了一級衍射能量的修正方法。利用搭建的雙光路裝置,在0°~30.6°范圍內對該多層衍射光學元件進行了衍射效率的測量。針對設計波長532nm,選取7個入射角度測量衍射效率,并對測量結果進行了模擬和分析。由于存在一定的加工誤差,在不同入射角度狀態(tài)下實際測量得到的衍射效率比理論分析的結果低,但是實測與理論分析結果均表明,多層衍射光學元件的衍射效率隨入射角的增大而下降。

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