【摘要】：射頻離子源具有的復(fù)雜電磁環(huán)境會(huì)干擾甚至使得朗繆爾單探針無(wú)法準(zhǔn)確獲得等離子體參數(shù)。雙探針具有對(duì)等離子體的干擾較小,不需要參考電位等優(yōu)點(diǎn),因此更加適用于射頻離子源下的等離子體診斷。為了使得朗繆爾雙探針更加精確地測(cè)量電子溫度與離子密度,必需在測(cè)量電路中增加針對(duì)干擾源頻率的濾波電路系統(tǒng)。本文針對(duì)射頻離子源等離子體診斷設(shè)計(jì)了探針測(cè)量電路,并進(jìn)行了仿真計(jì)算和分析,結(jié)果表明:探針的抗干擾能力與測(cè)量精度均具有明顯的改善。
[Abstract]:The complex electromagnetic environment of the RF ion source may interfere with or even make the Langmuir single probe unable to obtain the plasma parameters accurately. The double probe has the advantages of less interference to plasma and no reference potential, so it is more suitable for plasma diagnosis under RF ion source. In order to make Langmuir double probe measure electron temperature and ion density more accurately, the filter circuit system for interference source frequency must be added to the measuring circuit. In this paper, the probe measurement circuit is designed for the RF ion source plasma diagnosis, and the simulation calculation and analysis are carried out. The results show that the anti-interference ability and measurement accuracy of the probe are improved obviously.
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所;中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)科學(xué)島分院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(11405207,11505224,11505225)
【分類(lèi)號(hào)】：TL65

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 沈忠堯;染料激光在加速物理中的應(yīng)用——光泵浦極化負(fù)離子源[J];激光雜志;1987年01期

2 白桂彬;;一個(gè)小型弧放電離子源[J];高能物理與核物理;1987年02期

3 楊百方,繆競(jìng)威,師勉恭,唐阿友,朱洲森;高頻離子源參數(shù)研究[J];原子與分子物理學(xué)報(bào);1996年04期

4 粟達(dá)人,李文萊,劉家瑞;大面積離子源的研制[J];物理;1981年03期

5 程世昌;傅德君;張輝;;反應(yīng)濺射型射頻固體離子源[J];武漢大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1987年04期

6 趙玉清,余志軍;離子源引出系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];西安交通大學(xué)學(xué)報(bào);1998年03期

7 唐平瀛,丁伯南,戴晶怡;高頻H型放電離子源的場(chǎng)特性[J];強(qiáng)激光與粒子束;2003年09期

8 汪禮勝;唐德禮;熊濤;陳慶川;;端部霍爾離子源的磁場(chǎng)設(shè)計(jì)與數(shù)值模擬[J];真空;2006年03期

9 秦君軍,朱昌,潘永強(qiáng),陳智利,杭凌俠;霍爾無(wú)柵離子源的離子束性能測(cè)試[J];西安工業(yè)學(xué)院學(xué)報(bào);2002年04期

10 王爍;張國(guó)光;趙瀟;豐樹(shù)強(qiáng);竇玉玲;蘇丹;;小型中子發(fā)生器離子源工作特性的影響因素[J];中國(guó)原子能科學(xué)研究院年報(bào);2013年00期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 劉勝;盛鵬;宋士花;李軍;謝亞紅;謝遠(yuǎn)來(lái);劉智民;胡純棟;王紹虎;NBI組;;離子源長(zhǎng)脈沖放電實(shí)驗(yàn)[A];第十三屆全國(guó)等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

2 繆競(jìng)威;師勉恭;楊百萬(wàn);唐阿友;許祖潤(rùn);楊朝文;;~4HeD~+純凈束的研究[A];第十一屆全國(guó)核物理大會(huì)論文集[C];2000年

3 唐平瀛;戴晶怡;談效華;向偉;石磊;;離子源研究中的光譜診斷[A];2004全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2004年

4 尤大偉;黃小剛;任荊學(xué);李安杰;;用于薄膜制備的寬束射頻離子源[A];2004全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2004年

5 馮毓材;于夢(mèng)蛟;馮雋;;16厘米低能強(qiáng)流寬束離子源[A];大珩先生九十華誕文集暨中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2004年學(xué)術(shù)大會(huì)論文集[C];2004年

6 唐平瀛;;氘離子源等離子體特性[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（2000）[C];2000年

7 王旭迪;洪義麟;徐向東;劉穎;付紹軍;;Closed Draft無(wú)柵網(wǎng)離子源及其應(yīng)用[A];中國(guó)真空學(xué)會(huì)第六屆全國(guó)會(huì)員代表大會(huì)暨學(xué)術(shù)會(huì)議論文摘要集[C];2004年

8 向偉;戴晶怡;;潘寧離子源引出束流的數(shù)值模擬[A];2006全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2006年

9 董攀;龍繼東;楊振;王濤;張開(kāi)志;;負(fù)氫PIG型離子源的發(fā)射光譜診斷研究[A];第十四屆全國(guó)核物理大會(huì)暨第十屆會(huì)員代表大會(huì)論文集[C];2010年

10 盛鵬;胡純棟;宋士花;劉勝;劉智民;NBI組;;離子源進(jìn)氣實(shí)時(shí)控制系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)采集與處理研究[A];第十三屆全國(guó)等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前5條

1 周婷;基于碳納米管陰極的離子源的研究[D];東南大學(xué);2016年

2 萬(wàn)翔;觸發(fā)型真空弧離子源放電特性研究[D];中國(guó)工程物理研究院;2014年

3 劉佳明;考夫曼離子源等離子體模擬與結(jié)構(gòu)改進(jìn)[D];東北大學(xué);2012年

4 王曉飛;負(fù)離子的產(chǎn)生和出束實(shí)驗(yàn)研究[D];中國(guó)原子能科學(xué)研究院;2003年

5 劉偉波;NT50型中子管離子源放電電流研究[D];東北師范大學(xué);2006年

，

本文編號(hào)：2343410