本文選題：低溫等離子體 + O　； 參考：《電子器件》2017年04期

【摘要】：對(duì)自行設(shè)計(jì)的NTP發(fā)生器進(jìn)行了性能試驗(yàn),研究了電學(xué)參量、氣源對(duì)活性物質(zhì)生成及發(fā)射光譜的影響。結(jié)果表明,活性物質(zhì)主要為O_3和NO_2,且觀測到明顯的N_2第2正帶系譜峰。隨著放電電壓峰峰值或放電頻率的升高,能量密度增大,O_3和NO_2濃度先增加后減小,N_2第2正帶系譜峰顯著,光譜強(qiáng)度隨之增大。隨著氣體流量增大,能量密度減小,O_3和NO_2濃度及光譜強(qiáng)度均呈先增后減的趨勢。隨著氣源中O_2含量增加,O_3和NO_2濃度增大,當(dāng)O_2含量為80%時(shí),O_3和NO_2濃度分別超過20 000×10(-6)和10 000×10(-6);光譜強(qiáng)度則逐漸減弱。
[Abstract]:The performance tests of the NTP generator designed by ourselves were carried out, and the effects of electrical parameters and gas sources on the formation and emission spectra of active substances were studied. The results showed that the main active substances were O _ s _ 3 and no _ 2, and the second positive band pedigree peak of NSP _ 2 was observed. With the increase of the peak value of discharge voltage or the discharge frequency, the energy density increases firstly and then decreases the second positive band pedigree peak of N2, and the spectral intensity increases accordingly. With the increase of gas flow rate, the energy density decreases and the concentration and spectral intensity of O _ (3) and no _ (2) increase first and then decrease. With the increase of the content of O _ 2 in gas source, the concentration of O _ 3 and no _ 2 increases. When the content of O _ (2) is 80, the concentration of O _ (2) and no _ (2) exceed 20 000 脳 10 (-6) and 10 000 脳 10 (-6), respectively, and the spectral intensity decreases gradually.
【作者單位】： 江蘇大學(xué)汽車與交通工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51176067) 江蘇省“六大人才高峰”項(xiàng)目(2013-ZBZZ-036) 江蘇大學(xué)高級(jí)人才啟動(dòng)基金項(xiàng)目(13JDG055)
【分類號(hào)】：O53

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5 張s，

本文編號(hào)：2093438