本文選題：相位鎖定 + 聲光調(diào)制器��； 參考：《光子學(xué)報(bào)》2017年01期

【摘要】：干涉條紋的相位變化與干涉條紋中某一固定點(diǎn)的光強(qiáng)密切相關(guān),基于這一原理,通過對(duì)干涉場光強(qiáng)分析,提出并設(shè)計(jì)了一種用于干涉條紋相位鎖定的控制系統(tǒng).光電探測器檢測干涉條紋中固定目標(biāo)點(diǎn)的光強(qiáng),并以該光強(qiáng)電壓作為反饋控制信號(hào),利用聲光調(diào)制器對(duì)干涉系統(tǒng)中兩束高斯光束中的一束進(jìn)行實(shí)時(shí)頻率調(diào)制,將光強(qiáng)電壓控制在一個(gè)固定值,實(shí)現(xiàn)干涉條紋的相位鎖定.構(gòu)建了條紋鎖定控制系統(tǒng)控制對(duì)象的理論模型,通過實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了驗(yàn)證,并基于該模型的特點(diǎn)設(shè)計(jì)了條紋鎖定控制器.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:在400Hz的控制頻率下,干涉條紋相位漂移不超過±0.04個(gè)條紋周期,滿足干涉光刻的曝光需求.
[Abstract]:The phase change of interference fringes is closely related to the light intensity of a fixed point in the interference fringes. Based on this principle, a control system for phase locking of interference fringes is proposed and designed by analyzing the light intensity of interference fields. The photodetector detects the light intensity of the fixed target point in the interference fringes, and takes the light intensity voltage as the feedback control signal. The acousto-optic modulator is used to modulate the real time frequency of one of the two Gao Si beams in the interference system. The light intensity voltage is controlled at a fixed value to realize the phase locking of interference fringes. The theoretical model of the control object of the stripe locking control system is constructed and verified by experiments, and the stripe locking controller is designed based on the characteristics of the model. The experimental results show that the phase shift of interference fringes is less than 鹵0.04 fringe periods under the control frequency of 400Hz, which meets the exposure requirement of interference lithography.
【作者單位】： 清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院摩擦學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(No.51475262)資助~~
【分類號(hào)】：O436.1

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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7 李z靄，

本文編號(hào)：1854807