本文選題：一維光子晶體　切入點：硅基薄膜　出處：《發(fā)光學報》2017年10期

【摘要】：采用射頻等離子體增強化學氣相沉積的方法,研究制備了一種基于硅基薄膜的高反射一維光子晶體。通過交替改變反應氣體組分實現(xiàn)低折射率Si Ox層和高折射率a-Si層的交替層疊沉積,具有兩種膜層介質(zhì)折射率比大、反射率高、沉積時間短、工藝窗口寬等優(yōu)點。采用5周期的Si Ox層與a-Si層構(gòu)成的一維光子晶體(厚度分別為155 nm和55 nm),其禁帶范圍內(nèi)(650~1 100 nm)的平均反射率達到99.1%,高于相同波長范圍內(nèi)Ag的平均反射率(96.3%)。
[Abstract]:Radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition, A kind of high reflection one-dimensional photonic crystal based on silicon thin film was prepared. Alternating stacking deposition of low refractive index SiOx layer and high refractive index a-Si layer was realized by alternately changing the reaction gas component, which has high refractive index ratio of two kinds of films. High reflectivity, short deposition time, The average reflectivity of one-dimensional photonic crystals (with thickness of 155nm and 55nm) of SiOx layer and a-Si layer is 99.1, which is higher than that of Ag in the same wavelength range.
【作者單位】： 天津工業(yè)大學電氣工程與自動化學院電工電能天津市重點實驗室大功率半導體照明應用系統(tǒng)教育部工程中心;南開大學光電子薄膜器件與技術(shù)研究所光電子薄膜器件與技術(shù)天津市重點實驗室光學信息技術(shù)科學教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金(61176060,61404074,61504069,61377031,61605145) 天津市自然科學基金(14JCQNJC02100)資助項目~~
【分類號】：O734

【相似文獻】

相關期刊論文 前10條

1 武東升,顧培夫,劉旭,李海峰;一維光子晶體及其應用[J];激光與光電子學進展;2001年12期

2 黃弼勤,顧培夫;一維光子晶體反常折射的數(shù)值分析[J];光子學報;2004年10期

3 劉啟能;;一維光子晶體能帶全貌特征的色散研究[J];激光雜志;2007年02期

4 顧國昌,李宏強,陳洪濤,陳鴻,吳翔;一維光子晶體材料中的光學傳輸特性[J];光學學報;2000年06期

5 張擁華,仇欣杰,李宏強,陳鴻;一維光子晶體研究進展[J];物理;2001年10期

6 周鵬,游海洋,王松有,李合印,楊月梅,陳良堯;金屬插層對一維光子晶體中光傳輸特性的影響[J];物理學報;2002年10期

7 段曉峰,牛燕雄,張雛,張存善;一維光子晶體的光學傳輸特性分析[J];光子學報;2003年09期

8 張翔,李承芳;一維光子晶體研究簡介[J];光學與光電技術(shù);2003年02期

9 龔益玲,許震宇,張若京;一維光子晶體的帶隙分析[J];同濟大學學報(自然科學版);2004年07期

10 耶紅剛,陳光德;組合一維光子晶體全能反射器[J];光子學報;2005年08期

相關會議論文 前10條

1 許震宇;;應變可調(diào)一維光子晶體[A];慶祝中國力學學會成立50周年暨中國力學學會學術(shù)大會’2007論文摘要集（下）[C];2007年

2 彭景翠;夏輝;翦之漸;李宏建;張振華;瞿述;周仁龍;;一維光子晶體中原子的自發(fā)輻射[A];第四屆中國功能材料及其應用學術(shù)會議論文集[C];2001年

3 許震宇;;一維光子晶體的壓力可調(diào)性[A];科技、工程與經(jīng)濟社會協(xié)調(diào)發(fā)展——中國科協(xié)第五屆青年學術(shù)年會論文集[C];2004年

4 高艷;王海鋒;;缺陷一維光子晶體傳輸特性的研究[A];第七屆中國功能材料及其應用學術(shù)會議論文集（第2分冊）[C];2010年

5 杜桂強;劉念華;;含有多缺陷的一維光子晶體的完全透射及應用[A];第十一屆全國量子光學學術(shù)報告會論文集[C];2004年

6 王利;王風麗;吳文娟;王洪昌;林小燕;王占山;吳永剛;陳玲燕;;具有共振腔模式的一維光子晶體結(jié)構(gòu)[A];2004年光學儀器研討會論文集[C];2004年

7 劉念華;朱詩堯;;光脈沖通過一維光子晶體的超快光速與極慢光速傳播[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學學會2004年學術(shù)大會論文集[C];2004年

8 王利;王風麗;王占山;吳永剛;陳玲燕;;具有共振腔模式的一維光子晶體結(jié)構(gòu)[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學學會2004年學術(shù)大會論文集[C];2004年

9 劉念華;許靜平;朱詩堯;;一維光子晶體中自發(fā)輻射的非馬爾科夫過程[A];第十二屆全國量子光學學術(shù)會議論文摘要集[C];2006年

10 孫鳳久;劉威;;利用一維光子晶體的全角度禁帶實現(xiàn)微波無源屏蔽的研究[A];第十一屆全國紅外加熱暨紅外醫(yī)學發(fā)展研討會論文及論文摘要集[C];2007年

相關博士學位論文 前5條

1 陳蘇;新型一維光子晶體的制備和傳輸特性的研究[D];武漢大學;2009年

2 侯鵬;含復合缺陷的一維光子晶體的非線性傳輸特性的研究[D];上海大學;2009年

3 蔣美萍;一維光子晶體的光子帶隙、光學雙穩(wěn)態(tài)和相位共軛波[D];南京理工大學;2006年

4 李延輝;一維光子晶體表面波及其傳感應用研究[D];山東大學;2014年

5 陳溢杭;含特異材料的一維光子晶體中的缺陷模性質(zhì)研究[D];中山大學;2006年

相關碩士學位論文 前10條

1 胡迎賓;一維光子晶體態(tài)密度特性及帶隙結(jié)構(gòu)變化規(guī)律的研究[D];安徽大學;2016年

2 任姣雨;基于二氧化鈦/氧化石墨烯環(huán)境增強響應薄膜制備及應用研究[D];東南大學;2015年

3 仲義;一維光子晶體負折射透鏡的柱矢量光束焦場調(diào)控[D];南京郵電大學;2016年

4 武慧南;準周期一維光子晶體倍頻特性研究[D];哈爾濱理工大學;2016年

5 王志迅;一維光子晶體在紅外隱身材料應用方面的設計與實現(xiàn)[D];華中科技大學;2015年

6 毛謹;光在一維光子晶體中的傳輸特性研究[D];電子科技大學;2008年

7 劉兵;一維光子晶體全向介質(zhì)反射鏡理論研究[D];華中科技大學;2007年

8 劉碧蕊;可用于光通信的一維光子晶體特性的研究[D];西安電子科技大學;2007年

9 丁佳軼;基于一維光子晶體的寬角度入射寬帶通濾波器的研究[D];東華大學;2010年

10 孫明艷;一維光子晶體的光學特性研究[D];北京工業(yè)大學;2010年

，

本文編號：1679206