發(fā)布時(shí)間：2017-12-23 17:10

  本文關(guān)鍵詞：零差移頻式干涉圖形相位鎖定系統(tǒng)的超精密控制　出處：《光學(xué)精密工程》2017年05期 　論文類(lèi)型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 全息曝光 零差移頻式干涉圖形相位鎖定系統(tǒng) 系統(tǒng)辨識(shí) 高階線性擬合 微振動(dòng) PID控制

【摘要】：利用全息曝光法制造大口徑全息平面光柵時(shí),常引入零差移頻式干涉圖形相位鎖定系統(tǒng)來(lái)提高全息曝光質(zhì)量。本文針對(duì)直接影響最終干涉曝光精度的系統(tǒng)控制精度開(kāi)展研究。首先,介紹了新型的零差移頻式干涉圖形鎖定系統(tǒng)的原理和結(jié)構(gòu),在系統(tǒng)理論建模及模型辨識(shí)的基礎(chǔ)上,針對(duì)非線性系統(tǒng)模型進(jìn)行了高階線性化擬合,并結(jié)合系統(tǒng)振動(dòng)測(cè)試實(shí)驗(yàn)結(jié)果,設(shè)計(jì)了系統(tǒng)控制器。然后,對(duì)設(shè)計(jì)的控制器進(jìn)行了實(shí)際控制調(diào)試,實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)的超精密控制。最后,針對(duì)系統(tǒng)控制誤差紋波,采用頻域分析方法揭示了影響系統(tǒng)控制精度的主要因素,提出了未來(lái)提升系統(tǒng)控制精度的方法。測(cè)試結(jié)果顯示:系統(tǒng)相位鎖定控制精度可達(dá)±0.046 1rad(3σ)且以高頻誤差紋波形式呈現(xiàn)。分析了高頻誤差紋波的成因,指出受系統(tǒng)噪聲、延遲、控制器參數(shù)等因素限制,控制器很難完全抑制頻段跨度大而連續(xù)的高頻微振動(dòng)引起的干涉圖形相位漂移。
【作者單位】： 清華大學(xué)機(jī)械工程系摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室精密超精密制造裝備及控制北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.51677104) 中國(guó)博士后科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.2017M610885)
【分類(lèi)號(hào)】：TN25;TP273
【正文快照】： 1引言作為慣性約束核聚變激光驅(qū)動(dòng)裝置脈沖壓縮器[1]、193ArF浸沒(méi)式步進(jìn)掃描光刻機(jī)[2-3]的核心器件,大口徑高精度全息平面光柵具有非常重要的應(yīng)用。目前,大口徑全息曝光法[4-5]及其衍生方法[6-9]是制造這類(lèi)光柵的主要方法。用全息曝光法制造光柵時(shí),環(huán)境波動(dòng)、振動(dòng)等外界干擾會(huì)

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 周樸;王小林;馬閻星;馬浩統(tǒng);許曉軍;劉澤金;;隨機(jī)并行梯度下降算法實(shí)現(xiàn)16路光纖激光相位鎖定[J];中國(guó)激光;2010年02期

2 邢錦云;;斜列波導(dǎo)通道耦合的相位鎖定激光列陣[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;1993年01期

3 王自鑫;謝向生;郭晶;李鳴;周建英;;激光光場(chǎng)的大行程相位鎖定及控制系統(tǒng)[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2006年06期

4 薛宇豪;周軍;何兵;李震;漆云鳳;劉馳;樓祺洪;;基于空間濾波的光纖激光被動(dòng)相位鎖定技術(shù)研究[J];物理學(xué)報(bào);2010年11期

5 徐勇根;李育德;邱毅;馮婷;郭偉;付福興;;軸對(duì)稱(chēng)折疊組合CO_2激光器的相位鎖定及其輸出特性的研究[J];激光與紅外;2008年07期

6 ;任意兩束非相干光的相位鎖定技術(shù)[J];光學(xué)與光電技術(shù);2011年01期

7 馬養(yǎng)武;開(kāi)槽式相位鎖定被導(dǎo)列陣CO_2激光器[J];光學(xué)儀器;1995年Z1期

8 馬養(yǎng)武;特殊構(gòu)型的相位鎖定波導(dǎo)列陣CO_2激光器[J];中國(guó)激光;1994年09期

9 陳淑嬡;;激光器頻率的相位鎖定[J];長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械學(xué)院學(xué)報(bào);1982年02期

10 ;[J];;年期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 曹澗秋;自組織固態(tài)激光器陣列的調(diào)頻混沌和相位鎖定物理機(jī)制的研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2010年

，

本文編號(hào)：1324751