本文關(guān)鍵詞：微腔激光器Al和Ag電極的光電學(xué)特性研究　出處：《電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào)》2017年08期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：III-V族微腔激光器中的P型金屬電極通常采用的Ti-Pt-Au的合金方式,而其中的Ti層對(duì)通信波長(zhǎng)1 550 nm的激光具有很強(qiáng)的吸收,不適合在高密度光子集成器件中使用。為了代替?zhèn)鹘y(tǒng)的合金方式,采用二維解析法計(jì)算單一金屬Al和Ag金屬限制下的微腔中光學(xué)模式品質(zhì)因子,發(fā)現(xiàn)這兩種新型電極具有更小損耗。另外在實(shí)驗(yàn)上分別制作金屬Al和Ag的電極的微腔激光器,得到與理論預(yù)測(cè)一致的測(cè)試結(jié)果。由于這兩種電極價(jià)格便宜,工藝簡(jiǎn)單并與CMOS工藝相容,因此在光子集成器件中具有很高的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 北京信息科技大學(xué)光電信息與儀器北京市工程研究中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目-基于光纖光柵的飛機(jī)結(jié)構(gòu)載荷譜構(gòu)建新方法研究(54675053) 長(zhǎng)江學(xué)者和創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)發(fā)展計(jì)劃(IRT1212,光電信息與儀器) 北京市重大科技計(jì)劃項(xiàng)目(PXM2013-014224-000077,PXM2012-014224-000019)資助
【分類號(hào)】：TN248
【正文快照】： 0引言隨著光子集成技術(shù)的發(fā)展,各種微型的具有高品質(zhì)因子的光學(xué)結(jié)構(gòu)成為近年重點(diǎn)研究對(duì)象,如基于回音壁模式的微盤[1]、光子晶體[2]和DBR的垂直面發(fā)射激光器[3]等。為了適應(yīng)高密度光電集成的需要,金屬限制的波長(zhǎng)和亞波長(zhǎng)尺寸的諧振腔得到很快的發(fā)展[4-8],例如具有三明治結(jié)構(gòu)的

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