本文關(guān)鍵詞：超高分辨、高靈敏光學(xué)檢測方法與技術(shù)

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)檢測 光學(xué)成像 光學(xué)表面檢測 三維打印 精細光譜 衍射極限 超高分辨率 高靈敏度

【摘要】：超高分辨、高靈敏光學(xué)檢測方法與技術(shù)不僅是獲取物質(zhì)微觀信息的重要手段,同時也是高精度光學(xué)加工、高精密3D打印等先進制造技術(shù)的基礎(chǔ).本文簡要介紹和分析了超高分辨和高靈敏光學(xué)成像技術(shù)、亞納米級精度光學(xué)表面檢測技術(shù)、三維空間信息精確提取與精密檢測技術(shù),以及高靈敏度精細光譜實時檢測技術(shù)等方向的發(fā)展歷史、現(xiàn)狀以及發(fā)展趨勢,結(jié)合我國的戰(zhàn)略需求,對"十三五"期間應(yīng)重點開展的超高分辨、高靈敏光學(xué)檢測方法與技術(shù)提出了建議和展望.
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所;中國科學(xué)院自適應(yīng)光學(xué)重點實驗室;華中科技大學(xué) 武漢光電國家實驗室(籌) Britton
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測 光學(xué)成像 光學(xué)表面檢測 三維打印 精細光譜 衍射極限 超高分辨率 高靈敏度
【分類號】：TP391.41
【正文快照】： x中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所,成都610209y中國科學(xué)院自適應(yīng)光學(xué)重點實驗室,成都610209z華中科技大學(xué) 武漢光電國家實驗室(籌),Britton Chance生物醫(yī)學(xué)光子學(xué)研究中心,武漢430074{華中科技大學(xué)生物醫(yī)學(xué)工程系生物醫(yī)學(xué)光子學(xué)教育部重點實驗室,武漢4300741引言人類對微觀世界的探

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