本文關鍵詞：基于正則化主量分析的相移陰影疊柵解調技術，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：傳統(tǒng)的相移陰影疊柵輪廓術在垂直于光柵面方向移動光柵實現(xiàn)相移,由于相移是非線性的,需要較多幀的條紋圖進行相位解調。為了減少條紋圖幀數,節(jié)約測量時間,并簡化測量過程,提出一種基于主量分析法的三幀隨機相移陰影疊柵技術。主量分析法通過時域平均去除背景,對較少幀的條紋圖直接使用主量分析法會產生直流分量去除誤差,因而先將條紋圖正則化,再應用主量分析法求取相位。實驗表明,相對于直接使用主量分析法,利用正則化主量分析法可以明顯減小測量誤差。分別使用正則化主量分析法和五步相移法對同一物體表面進行測量,兩次測量結果之差在±5μm內,說明了正則化主量分析法的有效性。
【作者單位】： 西安工業(yè)大學機電工程學院;西安交通大學機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 衍射 光學三維測量 陰影疊柵輪廓術 主量分析法 相位
【基金】：國家自然科學基金(61471288,51475351) 陜西省自然科學基礎研究計劃(2015JM5190)
【分類號】：TP391.41
【正文快照】： l引言 陰影疊柵技術是一種全場、非接觸的光學三維輪廓測量方法,目前已經發(fā)展成為主要的疊柵測量方法,并廣泛應用于人體測量、晶圓表面檢測、球柵陣列共面度測試、自動生產、航空工業(yè)等領域。陰影疊柵包括一個普通光源,一塊基準光柵和一個CCD攝像機,結構簡單,且測量裝置產生

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