基于光學(xué)三維成像的鏡面物體表面質(zhì)量檢測(cè)方法研究
發(fā)布時(shí)間:2021-07-08 09:22
隨著科學(xué)技術(shù)的加速發(fā)展,鏡面物體的面形檢測(cè)需求已廣泛存在于在光學(xué)反射鏡制造、半導(dǎo)體工業(yè)、拋光模具制造、手機(jī)外殼及其玻璃面板制造等領(lǐng)域。在鏡面物體的光學(xué)三維成像技術(shù)中,基于結(jié)構(gòu)光法的相位測(cè)量偏折術(shù)(phase measuring deflectometry)具有全場(chǎng)測(cè)量、非相干、高靈敏度、穩(wěn)定、經(jīng)濟(jì)的優(yōu)點(diǎn)而受到了研究者們的關(guān)注。相位測(cè)量偏折術(shù)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,主要包括一臺(tái)相機(jī)和一個(gè)液晶顯示屏,其單次測(cè)量可以采集幾百萬(wàn)個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn),測(cè)量橫向分辨率可達(dá)1μm,高度分辨率可達(dá)1nm。與其他任何測(cè)量技術(shù)一樣,提升測(cè)量精度始終是相位測(cè)量偏折術(shù)的研究重點(diǎn),本論文重點(diǎn)研究了相位測(cè)量偏折術(shù)中提升測(cè)量精度的方法,對(duì)相位測(cè)量偏折術(shù)系統(tǒng)標(biāo)定、相位誤差補(bǔ)償、動(dòng)態(tài)測(cè)量、測(cè)量?jī)x器系統(tǒng)研制等方面開(kāi)展了研究,在高精度標(biāo)定方法研究、相位誤差補(bǔ)償方法研究,高精度動(dòng)態(tài)測(cè)量方法研究方面取得了創(chuàng)新,具體如下:1.提出了一種基于相位梯度解析表達(dá)式的系統(tǒng)標(biāo)定方法,實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)標(biāo)定的靈活性和標(biāo)定精度的提升。標(biāo)定誤差是相位測(cè)量偏折術(shù)中一類(lèi)主要誤差,其將會(huì)直接影響從相位恢復(fù)的梯度精度,F(xiàn)有的基于系統(tǒng)幾何結(jié)構(gòu)的標(biāo)定技術(shù)中,顯示屏空間位置標(biāo)定的過(guò)程復(fù)雜...
【文章來(lái)源】:電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁(yè)數(shù)】:115 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
HEXAGON公司RomerAbsoluteArm77系列的機(jī)械接觸式坐標(biāo)測(cè)量?jī)x
(a) (b)圖 1-2 Metris LK Ultra 機(jī)械式坐標(biāo)測(cè)量?jī)x。(a)該儀器的整體結(jié)構(gòu);(b)該儀器探針位置局部放大圖.2.2 非接觸式三維測(cè)量技術(shù)
ZCorporation的ZScanner800掃描儀
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]條紋反射法測(cè)量鏡面手機(jī)外殼多尺度三維形貌[J]. 宋雷,岳慧敏,吳雨祥,劉永,劉永智. 光電子.激光. 2012(11)
[2]基于虛擬參考面方法的高反射曲面三維形貌測(cè)量[J]. 李紹輝,劉書(shū)桂,韓淑建,季莉栓,張宏偉. 光電子.激光. 2012(09)
[3]基于條紋反射的非球面鏡三維面形測(cè)量[J]. 唐燕,蘇顯渝,劉元坤,荊海龍. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2009(04)
[4]基于條紋反射的鏡面測(cè)量及三維重建算法分析[J]. 荊海龍,蘇顯渝,劉元坤,伍凡. 光電工程. 2008(10)
[5]光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)與應(yīng)用[J]. 邵雙運(yùn). 現(xiàn)代儀器. 2008(03)
[6]基于梯度數(shù)據(jù)的三維面形重建方法[J]. 荊海龍,蘇顯渝,劉元坤. 激光雜志. 2007(06)
[7]基于相位測(cè)量的攝像機(jī)標(biāo)定方法[J]. 劉元坤,蘇顯渝. 光電工程. 2007(11)
[8]基于傅里葉條紋分析的攝像機(jī)標(biāo)定[J]. 劉元坤,蘇顯渝. 四川大學(xué)學(xué)報(bào)(工程科學(xué)版). 2007(06)
[9]基于條紋反射的類(lèi)鏡面三維面形測(cè)量方法[J]. 劉元坤,蘇顯渝,吳慶陽(yáng). 光學(xué)學(xué)報(bào). 2006(11)
[10]基于相移和非相干成像的反射鏡面形測(cè)量方法[J]. 劉元坤,蘇顯渝,姜美花,李澤仁. 光電子·激光. 2006(04)
博士論文
[1]基于時(shí)間相位展開(kāi)的三維輪廓測(cè)量研究[D]. 岳慧敏.四川大學(xué) 2005
碩士論文
[1]高精度面結(jié)構(gòu)光三維測(cè)量方法研究[D]. 趙必玉.電子科技大學(xué) 2015
[2]基于條紋投影和條紋反射的三維形貌測(cè)量[D]. 宋雷.電子科技大學(xué) 2012
本文編號(hào):3271297
【文章來(lái)源】:電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校
【文章頁(yè)數(shù)】:115 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:博士
【部分圖文】:
HEXAGON公司RomerAbsoluteArm77系列的機(jī)械接觸式坐標(biāo)測(cè)量?jī)x
(a) (b)圖 1-2 Metris LK Ultra 機(jī)械式坐標(biāo)測(cè)量?jī)x。(a)該儀器的整體結(jié)構(gòu);(b)該儀器探針位置局部放大圖.2.2 非接觸式三維測(cè)量技術(shù)
ZCorporation的ZScanner800掃描儀
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]條紋反射法測(cè)量鏡面手機(jī)外殼多尺度三維形貌[J]. 宋雷,岳慧敏,吳雨祥,劉永,劉永智. 光電子.激光. 2012(11)
[2]基于虛擬參考面方法的高反射曲面三維形貌測(cè)量[J]. 李紹輝,劉書(shū)桂,韓淑建,季莉栓,張宏偉. 光電子.激光. 2012(09)
[3]基于條紋反射的非球面鏡三維面形測(cè)量[J]. 唐燕,蘇顯渝,劉元坤,荊海龍. 光學(xué)學(xué)報(bào). 2009(04)
[4]基于條紋反射的鏡面測(cè)量及三維重建算法分析[J]. 荊海龍,蘇顯渝,劉元坤,伍凡. 光電工程. 2008(10)
[5]光學(xué)三維測(cè)量技術(shù)與應(yīng)用[J]. 邵雙運(yùn). 現(xiàn)代儀器. 2008(03)
[6]基于梯度數(shù)據(jù)的三維面形重建方法[J]. 荊海龍,蘇顯渝,劉元坤. 激光雜志. 2007(06)
[7]基于相位測(cè)量的攝像機(jī)標(biāo)定方法[J]. 劉元坤,蘇顯渝. 光電工程. 2007(11)
[8]基于傅里葉條紋分析的攝像機(jī)標(biāo)定[J]. 劉元坤,蘇顯渝. 四川大學(xué)學(xué)報(bào)(工程科學(xué)版). 2007(06)
[9]基于條紋反射的類(lèi)鏡面三維面形測(cè)量方法[J]. 劉元坤,蘇顯渝,吳慶陽(yáng). 光學(xué)學(xué)報(bào). 2006(11)
[10]基于相移和非相干成像的反射鏡面形測(cè)量方法[J]. 劉元坤,蘇顯渝,姜美花,李澤仁. 光電子·激光. 2006(04)
博士論文
[1]基于時(shí)間相位展開(kāi)的三維輪廓測(cè)量研究[D]. 岳慧敏.四川大學(xué) 2005
碩士論文
[1]高精度面結(jié)構(gòu)光三維測(cè)量方法研究[D]. 趙必玉.電子科技大學(xué) 2015
[2]基于條紋投影和條紋反射的三維形貌測(cè)量[D]. 宋雷.電子科技大學(xué) 2012
本文編號(hào):3271297
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