【摘要】：為滿足現(xiàn)代二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)鋯石樣品圖像自動聚焦系統(tǒng)對聚焦準(zhǔn)確度的要求,提出了一種具有自動消除噪聲功能的鋯石樣品圖像自動聚焦算法,并將其應(yīng)用于飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)。該算法包括鋯石圖像識別分割法、分段式聚焦算法和調(diào)焦控制策略。在聚焦遠峰區(qū),采用Roberts算子的聚焦評價函數(shù)及差分累加的調(diào)焦控制策略進行粗調(diào);在聚焦近峰區(qū),捕捉圖像中的鋯石目標(biāo)進行識別分割,采用局部坐標(biāo)算子的聚焦評價函數(shù)與爬山法相結(jié)合的調(diào)焦控制策略進行聚焦細調(diào)。實驗結(jié)果表明:該算法聚焦準(zhǔn)確率達99%,可有效抑制噪聲干擾,實現(xiàn)了對鋯石樣品圖像的自動、準(zhǔn)確聚焦。
[Abstract]:In order to meet the requirements of focusing accuracy in modern secondary ion mass spectrometer (SIMS) zircon sample image automatic focusing system, an automatic focusing algorithm for zircon sample image with the function of automatically eliminating noise is proposed. It is applied to time-of-flight secondary ion mass spectrometer (TOF-SIMS). The algorithm includes zircon image recognition segmentation, segmented focusing algorithm and focusing control strategy. In the far peak region of focus, the focus evaluation function of Roberts operator and the focusing control strategy of difference accumulation are used for rough tuning. In the near peak region of focus, the zircon target in the image is captured for recognition and segmentation, and the focusing control strategy combining the focus evaluation function of the local coordinate operator with the mountain climbing method is used to fine tune the focus. The experimental results show that the focusing accuracy of the algorithm is 99%, which can effectively suppress the noise interference and realize the automatic and accurate focusing of zircon sample images.
【作者單位】： 吉林大學(xué)儀器科學(xué)與電氣工程學(xué)院;中國地質(zhì)科學(xué)院地質(zhì)研究所北京離子探針中心;中國計量科學(xué)研究院;
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項項目(2011YQ05006902)
【分類號】：TP391.41

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：2475196