【摘要】：針對原子力顯微鏡(AFM)掃描樣品時因受系統(tǒng)溫漂影響導(dǎo)致掃描圖像失真的問題,提出一種基于溫漂補償模型的AFM圖像重構(gòu)方法。利用AFM圖像在快速掃描方向上精度相對較高的特點,關(guān)聯(lián)同一樣本的兩個不同角度的掃描圖像,定義偏移矢量,建立起溫漂模型。通過實驗仿真驗證了該方法有效性,在此基礎(chǔ)上校正AFM圖像,實驗結(jié)果表明,該方法能有效降低系統(tǒng)溫漂的影響,提高AFM圖像質(zhì)量。
[Abstract]:In order to solve the problem of scanning image distortion caused by systematic temperature drift in atomic force microscope (AFM) (AFM) scanning, a AFM image reconstruction method based on temperature drift compensation model is proposed. Taking advantage of the relatively high accuracy of AFM images in fast scanning direction, two scanning images with different angles of the same sample are associated, the offset vector is defined, and the temperature drift model is established. Experimental results show that the proposed method is effective and the AFM image is corrected. The experimental results show that the proposed method can effectively reduce the temperature drift of the system and improve the quality of AFM images.
【作者單位】： 沈陽建筑大學(xué)信息與控制工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(61305125) 國家博士后面上基金項目(2013M530955) 國家博士后特別基金項目(2014T70265)
【分類號】：TP391.41

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本文編號：2430219