本文關鍵詞：銅互連清洗及化學處理設備軟件控制系統(tǒng)

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【摘要】：隨著中國大力發(fā)展大規(guī)模集成電路產業(yè),2015年國家以“大基金”形式對集成電路進行投資。至今在國內已建立多條12英寸半導體集成電路生產線。由于集成電路對于硅片表面清潔度工藝指標要求極其苛刻,使集成電路12英寸生產線對于前道與后道工序每道工序都需要進行清洗工藝,從而使半導體清洗設備在生產線的需求極為迫切。12英寸集成電路自動化生產線上基本沒有國內自主研發(fā)的半導體制造設備,在此情形下通過國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項中對半導體清洗設備軟件系統(tǒng)進行研發(fā)。針對國內與國際上半導體設備軟件的研究重點與軟件架構進行了調查,報告了國內外半導體設備軟件的現(xiàn)狀。結合國家重大專項及北京中芯國際對半導體清洗設備軟件的實際要求,對軟件進行研發(fā)與設計,填補國內在此領域軟件系統(tǒng)的空白,實現(xiàn)國產設備在自動化生產線上運行。銅互連清洗及化學處理設備軟件控制系統(tǒng)討論并研究該設備軟件控制系統(tǒng)的軟件需求,架構與設計。首先采用面向對象思路對設備功能分為集束管理控制,傳輸控制,工藝控制,化學藥液控制,工廠自動化五個子系統(tǒng)。對每個子系統(tǒng)進行需求分析,使各子系統(tǒng)符合半導體設備國際相關軟件SEMI標準。本論文采用層次架構設計由上至下分為用戶界面層、邏輯功能層、設備單元層及驅動控制層。對于每層架構采用設計模式思想進行軟件設計,之后對軟件控制系統(tǒng)進行性能與可靠性設計,通過對軟件系統(tǒng)采用容錯技術,從設計方法與思路上保證軟件系統(tǒng)可靠性與穩(wěn)定性。軟件設計完成之后,采用.NET Remoting技術、反射技術和XML配置文件方式對服務功能、界面功能、主要功能模塊進行實現(xiàn)。通過自定義通信協(xié)議對與軟件相連的硬件進行數(shù)據(jù)通信實現(xiàn)并對代碼進行調試優(yōu)化與集成。最后通過NUnit單元測試、集成測試與系統(tǒng)測試。最終完成銅互連清洗軟件從需求分析、設計、開發(fā)調試、測試整個軟件系統(tǒng)開發(fā)過程。銅互連清洗及化學處理設備軟件目前在中芯國際生產線上通過Demo認證,滿足工廠自動化要求。
【關鍵詞】：架構 設計模式 可靠性 調試 測試
【學位授予單位】：北京工業(yè)大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TP311.52
【目錄】：

• 摘要4-5
• Abstract5-10
• 第1章 緒論10-16
• 1.1 課題的背景及其理論與實際意義10
• 1.2 國內外文獻綜述10-14
• 1.3 研究進展與成果、存在的不足14-15
• 1.4 本研究課題的來源及主要研究內容15-16
• 第2章 軟件控制系統(tǒng)概述及需求分析16-34
• 2.1 銅互連清洗軟件控制系統(tǒng)概述16-19
• 2.1.1 清洗工藝16
• 2.1.2 銅互連清洗設備16-18
• 2.1.3 銅互連清洗設備軟件控制系統(tǒng)18-19
• 2.2 銅互連清洗軟件需求分析19-20
• 2.2.1 需求分析的工作過程19
• 2.2.2 需求分析建模的方法19-20
• 2.2.3 用例模型20
• 2.3 銅互連清洗設備軟件需求20-32
• 2.3.1 功能需求20-31
• 2.3.2 性能需求31
• 2.3.3 可靠性及故障處理需求31-32
• 本章小結32-34
• 第3章 軟件控制系統(tǒng)設計34-58
• 3.1 軟件架構設計與風格34-36
• 3.1.1 軟件架構含義34
• 3.1.2 軟件架構風格34-35
• 3.1.3 軟件體系結構和設計模式35-36
• 3.2 軟件功能設計36-46
• 3.2.1 軟件架構設計36-41
• 3.2.2 用戶界面層設計41-43
• 3.2.3 邏輯功能層設計43-44
• 3.2.4 設備單元層設計44-45
• 3.2.5 驅動控制層設計45-46
• 3.3 軟件性能設計46-53
• 3.3.1 軟件數(shù)據(jù)精度設計46-48
• 3.3.2 軟件調度算法設計48-49
• 3.3.3 軟件時間特性設計49-52
• 3.3.4 軟件靈活性設計52-53
• 3.4 軟件可靠性及故障處理設計53-56
• 3.4.1 可靠性設計53-54
• 3.4.2 故障處理設計54-56
• 本章小結56-58
• 第4章 軟件控制系統(tǒng)調試優(yōu)化與集成58-64
• 4.1 軟件系統(tǒng)的開發(fā)58-61
• 4.1.1 軟件開發(fā)環(huán)境58
• 4.1.2 軟件服務功能實現(xiàn)58-59
• 4.1.3 軟件功能模塊實現(xiàn)59-60
• 4.1.4 軟件界面功能實現(xiàn)60
• 4.1.5 軟件通信功能實現(xiàn)60-61
• 4.2 軟件調試優(yōu)化61-62
• 4.3 軟件系統(tǒng)的集成62
• 本章小結62-64
• 第5章 軟件控制系統(tǒng)測試64-70
• 5.1 軟件測試概述64
• 5.2 軟件單元測試64-65
• 5.3 軟件集成測試65-66
• 5.4 軟件系統(tǒng)測試66-68
• 5.4.1 軟件仿真測試66-67
• 5.4.2 軟件耐久測試67
• 5.4.3 軟件客戶現(xiàn)場測試67-68
• 本章小結68-70
• 結論70-72
• 攻讀碩士學位期間獲得的科研成果72-74
• 參考文獻74-78
• 致謝78

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本文編號：1100942