本文關(guān)鍵詞：微納米結(jié)構(gòu)的電驅(qū)動模塑成形工藝及其界面物理行為研究

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【摘要】：正以納米壓印為代表的模塑成形工藝,被認(rèn)為是一種低成本、高效率、高分辨率的納米結(jié)構(gòu)成形技術(shù),被許多重要的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域寄予了厚望,甚至被國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(ITRS)列為未來最有可能代替光學(xué)光刻的一種圖形化技術(shù)。然而此類技術(shù)在填充和脫模過程中的缺陷控制和模板壽命方面的困難,一直是限制其深入走向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的關(guān)鍵問題。因此,研究微納米結(jié)構(gòu)的模塑成形工藝在其流變過程和表界面行為中的缺陷形成機理,并提出行之有效的解決方案,是推動微納米結(jié)構(gòu)模塑成形技
【作者單位】： 西安交通大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 微納米結(jié)構(gòu);成形工藝;模塑;納米壓印;電驅(qū)動;高分辨率;半導(dǎo)體技術(shù);界面行為;缺陷控制;聚合物表面;
【分類號】：TH16;TB383.1
【正文快照】： 以納米壓印為代表的模塑成形工藝,被認(rèn)為是一種低成本、高效率、高分辨率的納米結(jié)構(gòu)成形技術(shù),被許多重要的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域寄予了厚望,甚至被國際半導(dǎo)體技術(shù)路線圖(ITRS)列為未來最有可能代替光學(xué)光刻的一種圖形化技術(shù)。然而此類技術(shù)在填充和脫模過程中的缺陷控制和模板壽命方面的困

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