【摘要】： 磁懸浮軸承是一種典型的機(jī)電一體化產(chǎn)品,是利用磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空中的一種新型高性能軸承。與傳統(tǒng)軸承相比,具有無接觸、無摩擦、壽命長、能耗低、噪聲小、無需潤滑等優(yōu)點(diǎn),實(shí)際應(yīng)用越來越廣泛。本課題研究的目的是,解決傳統(tǒng)軸承型分子泵應(yīng)用在半導(dǎo)體制造行業(yè)時(shí)出現(xiàn)轉(zhuǎn)速低、壽命短、真空不潔凈等問題,設(shè)計(jì)分子泵的磁懸浮軸承結(jié)構(gòu)和功率放大器,對實(shí)現(xiàn)分子泵在半導(dǎo)體工業(yè)中的良好應(yīng)用有著重要的意義。 首先綜合考慮了分子泵體積小、磁軸承散熱條件不好的特點(diǎn),設(shè)計(jì)了分子泵磁懸浮軸承的結(jié)構(gòu),選擇了軸承鐵芯的材料,設(shè)計(jì)了磁極的布置、槽的形狀、磁極數(shù)目和線圈纏繞方式。 其次,為了得到最佳結(jié)構(gòu)參數(shù),對分子泵磁軸承結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),建立了磁軸承結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化模型,以磁軸承體積最小為優(yōu)化目標(biāo),以線圈溫升小于允許溫升和承載力滿足載荷要求等為約束條件。 最后闡述了功率放大器的工作原理和特性,在分析了目前開關(guān)功率放大器所采用的調(diào)制技術(shù)、比較了各種調(diào)制技術(shù)優(yōu)缺點(diǎn)的基礎(chǔ)上,設(shè)計(jì)了脈寬調(diào)制開關(guān)功率放大器的電路,并進(jìn)行了調(diào)試。測試了開關(guān)功率放大器的相關(guān)特性,試驗(yàn)結(jié)果表明該功率放大器頻帶寬、輸入輸出線性度好、效率高、電流紋波小,達(dá)到了設(shè)計(jì)要求。
【圖文】：

泵技術(shù)的發(fā)展與現(xiàn)狀采用滾珠軸承，但是很快就暴露、振動(dòng)和噪音高以及抽取真空的承。這時(shí)，具有高轉(zhuǎn)速、長壽命BOLD 公司首先開發(fā)了完全無接固定、帶有葉列的轉(zhuǎn)子在軸的機(jī)時(shí)輔助軸承的直徑較大,易引一種內(nèi)環(huán)式旋轉(zhuǎn)的，即以軸旋轉(zhuǎn)了這種渦輪分子泵[27,28]。產(chǎn)的磁懸浮型分子泵如圖 1-2 所為 30,000～40,000r/min，重量小 10-8~10-10mbar。

圖 2-1 鐵磁材料的磁滯回線與磁化曲線-1 Hysteresis loop and B-H curve of ferromagnetic m數(shù)設(shè)計(jì)的原則是使磁軸承電氣性能好、制造工藝小附加損耗，提高效率，同時(shí)槽數(shù)多，線能力強(qiáng)，降低線圈溫升。但磁極數(shù)增多，，且當(dāng)磁極數(shù)達(dá)到一定值時(shí)，再增加磁極的耦合效應(yīng)，結(jié)合經(jīng)濟(jì)性要求，一般磁極子適應(yīng)于直徑 80mm 以下的轉(zhuǎn)子；24 極子；32 極的定子適應(yīng)直徑 200mm 以上的同磁極數(shù)所得到的不同優(yōu)化結(jié)果加以對比來狀設(shè)計(jì)
【學(xué)位授予單位】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2006
【分類號】：TH133.3

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8 章淑，

本文編號：2646174