本文關(guān)鍵詞：硅微機械諧振壓力傳感器技術(shù)發(fā)展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【論文】基于SOI的硅微諧振式壓力傳感器芯片制作

基于SOI的硅微諧振式壓力傳感器芯片制作_專業(yè)資料。采用SOI硅片,基于MEMS技術(shù),設計并加工了一種新型三明治結(jié)構(gòu)的硅微諧振式壓力傳感器,根據(jù)傳感器敏感單元的結(jié)構(gòu)...

硅諧振式壓力微傳感器模型與開環(huán)特性測試

基于諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器幅、相頻率特性的分析,利用北京航空航天大學微傳感器實驗室研制的諧振式硅微結(jié)構(gòu)傳感器開環(huán)測試系統(tǒng)的測試實驗結(jié)果和Matlab實驗數(shù)據(jù)...

一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設計

2.學位論文 任森 硅微諧振式壓力傳感器芯體設計與制作工藝研究 2007 基于MEMS技術(shù)的硅微諧振式壓力傳感器是目前精度最高的硅微壓力傳感器,它通過檢測物體的固有...

一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設計

根據(jù)正方形膜片的變形和應力分布情況,提出了一種硅微諧振式壓力傳感器敏感膜片的設計方法,設計了兩種正方形間接連接式壓力敏感膜片.在相同的膜片面積下,新膜片與...

【論文】一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設計

提出了一種硅微諧振式壓力傳感器敏感膜片的設計方法,...

諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器非線性振動特性研究

諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器非線性振動特性研究樊尚春 喬少杰 張軒 北京 100083) ( 北京航空航天大學儀器科學與光電工 程學院 摘要 * 本文研究了諧振式硅微結(jié)構(gòu)...

【論文】硅微機械諧振壓力傳感器技術(shù)發(fā)展

硅微機械諧振壓力傳感器技術(shù)發(fā)展_機械/儀表_工程科技_專業(yè)資料 暫無評價

【論文】電磁激勵微諧振式傳感器的設計與制作

電磁激勵微諧振式傳感器的設計與制作_專業(yè)資料。利用微電子機械加工技術(shù)成功研制...工藝制作采用體硅加工工藝,并且采用一種減小封裝應力的結(jié)構(gòu)完成壓力傳感器的真空...

【論文】硅微機械諧振式壓力傳感器閉環(huán)方法

硅微機械諧振式壓力傳感器閉環(huán)方法_專業(yè)資料。提高硅微機械諧振式壓力傳感器的性能指標有很多方法,如何對已知敏感結(jié)構(gòu)的輸出量程范圍內(nèi)所有諧振頻率點進行實時閉環(huán)...

【論文】靜電激勵硅微機械諧振壓力傳感器設計

靜電激勵硅微機械諧振壓力傳感器設計_機械/儀表_工程科技_專業(yè)資料。64 傳感器與微系統(tǒng) (Transducer and Micosrystem Technologies) 2 ...

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