本文關(guān)鍵詞：硅微機械諧振壓力傳感器技術(shù)發(fā)展，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

硅諧振式壓力微傳感器閉環(huán)系統(tǒng)

硅諧振式壓力微傳感器閉環(huán)系統(tǒng)_兵器/核科學_工程科技_專業(yè)資料。2005 年 3 月...目前對硅諧振式微傳感器檢測方法的研究, 國內(nèi)外都取得了一些實用成果 . 資料表明...

硅微機械諧振壓力傳感器技術(shù)發(fā)展

硅微機械諧振壓力傳感器是目前精度最高、長期穩(wěn)定性最好的壓力傳感器之一,是航空...測信號均會減小,這樣不僅增加了閉環(huán)控制的難度, 同時也會對傳感器精度產(chǎn)生影響。...

硅微機械諧振式壓力傳感器組合敏感原理

Key words: resonant sensor; MEM S; closed loo p syst em ; combined sensing principl e 1 引言 硅微機械諧振式壓力傳感器具有高精度、 小型 常采用閉環(huán)...

一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設(shè)計

根據(jù)正方形膜片的變形和應力分布情況,提出了一種硅微諧振式壓力傳感器敏感膜片的設(shè)計方法,設(shè)計了兩種正方形間接連接式壓力敏感膜片.在相同的膜片面積下,新膜片與原有...

很重要-諧振式微小型壓力傳感器數(shù)字閉環(huán)系統(tǒng)

硅微機械諧振式壓力傳感... 3頁 免費 一種硅微諧振...32 No111 l 諧振式微小型壓力傳感器數(shù)字閉環(huán)系統(tǒng)周...方法可直接應用于 硅諧振式微傳感器, 對實現(xiàn)硅諧振...

硅微機械諧振式陀螺儀

介紹了硅微機械諧振式陀螺儀的工作原理 給出了硅微...2.學位論文 易康 半球諧振陀螺誤差分析和濾波方法...陀螺的閉環(huán)檢測原理出發(fā),對半球諧振陀螺閉環(huán)檢測誤差...

硅微諧振式壓力傳感器芯體設(shè)計與制作工藝研究

硅微諧振式壓力傳感器芯體設(shè)計與制作工藝研究_機械/儀表_工程科技_專業(yè)資料。壓力...傳感器閉環(huán)子系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計;微弱信號的檢測、信號之間的抗耦合干 擾技術(shù)及其實現(xiàn)...

第五章 微機械傳感器

Csen 具有硬中心的硅電容壓力傳感器 Csen 與膜片式...開環(huán)模式工作,硅 特點: 諧振式則不同,為閉環(huán)模式...雙框架式微機械諧振陀螺 ? 工作原理:當外框架繞 ...

第9章 諧振式傳感器

第 9章 諧振式傳感器 諧振式壓力傳感器 第 9章 ...最基本的形式是由奇數(shù)個首尾相 連成閉環(huán)的反相器...以 硅為振子材料的硅微機械諧振傳感器越來越受到了 ...

一種新型微機械諧振式壓力傳感器研究

一種新型微機械諧振式壓力傳感器研究_機械/儀表_工程...( 100) 硅 片, 由于濃硼擴散硅可以抵制 KOH ...其閉環(huán)性能則是由 一個自行開發(fā)的鎖相閉環(huán)自激振蕩...

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