本文關(guān)鍵詞：硅微機(jī)械諧振壓力傳感器技術(shù)發(fā)展，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

一種硅微諧振式壓力傳感器的敏感膜片設(shè)計(jì)

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硅微諧振式壓力傳感器芯體設(shè)計(jì)與制作工藝研究

硅微諧振式壓力傳感器芯體設(shè)計(jì)與制作工藝研究_機(jī)械/儀表_工程科技_專(zhuān)業(yè)資料。壓力...硅微壓阻式壓力傳感器由壓力敏感膜片和制作在其 表面上的壓敏電阻兩部分構(gòu)成,當(dāng)...

硅諧振梁式壓力傳感器模擬計(jì)算

圖 1 硅微結(jié)構(gòu)諧振梁式壓力傳感器敏感結(jié)構(gòu) 2 諧振敏感結(jié)構(gòu) 圖 1 所示為硅微結(jié)構(gòu)諧振梁式壓力傳感器的敏感部分,方膜片為一次敏感元件, 半邊長(zhǎng)和厚度分別用 A,H...

微壓力傳感器參數(shù)設(shè)計(jì)及靈敏度分析

一種硅微諧振式壓力傳感... 7頁(yè) 1下載券 平膜片式薄膜壓力傳感器... 7頁(yè) ...1芯片結(jié)構(gòu)示圖 如果使用恒流源激勵(lì)時(shí),電橋的輸出與力敏感電阻之間的 關(guān)系如式(...

硅微機(jī)械諧振壓力傳感器技術(shù)發(fā)展

簡(jiǎn)單介紹硅微機(jī)械諧 振壓力傳感器的分類(lèi)及工作原理,針對(duì)壓力敏感膜片與諧振器復(fù)合...是傳感器芯體設(shè)計(jì),其芯體結(jié)構(gòu)及其激勵(lì)與檢測(cè)方 式對(duì)傳感器精度和穩(wěn)定性影響最大...

硅微壓阻式壓力傳感器

一種硅微壓阻式壓力傳感器的研究 機(jī)械設(shè)計(jì)與制造 ...應(yīng)用小撓度理論設(shè)計(jì)計(jì)算了壓阻式硅傳感器方形彈性膜片...的原理, 可以將其分為壓阻式、 電容式、諧振式...

硅壓力傳感器芯片設(shè)計(jì)分析與優(yōu)化設(shè)計(jì)

一種硅微諧振式壓力傳感器... 7頁(yè) 2財(cái)富值 壓力...分析了半導(dǎo)體硅壓阻式壓力傳感器方形膜片的受力分布,...從壓阻式壓力傳感器芯 片的敏感膜結(jié)構(gòu)來(lái)看,有圓形...

壓阻式微型壓力傳感器敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

省微/納米系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室.陜西西安 摘要:在設(shè)計(jì)某一壓阻式壓力傳感器特定敏感...為零。若將4個(gè)電阻環(huán)繞硅膜片中心同向 布置,當(dāng)膜片受到外界壓力作用時(shí),一對(duì)...

壓阻式微型壓力傳感器敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)_易選強(qiáng)

壓阻式微型壓力傳感器敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)_易選強(qiáng)_機(jī)械/儀表_工程科技_專(zhuān)業(yè)資料。2008年 12月 第 26 卷第 6 期 西北工 業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào) Jo urnal o f N o rthw est...

諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器非線性振動(dòng)特性研究

度法展開(kāi)研 [1 -5] 2 諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及數(shù) 學(xué)模型圖 1 為諧振式 硅微結(jié)構(gòu)壓 力傳感器的復(fù) 合敏感結(jié) 構(gòu) , 包括方膜片、 諧振子和邊界 ...

【論文】一種硅微壓阻式壓力傳感器的研究

研究了一種量程為20kPa的壓阻式微壓力傳感器,同時(shí)采用ANSYS仿真得出影響傳感器性能的一些規(guī)律。應(yīng)用小撓度理論設(shè)計(jì)計(jì)算了壓阻式硅傳感器方形彈性膜片結(jié)構(gòu),并對(duì)圓形膜片...

  本文關(guān)鍵詞：硅微機(jī)械諧振壓力傳感器技術(shù)發(fā)展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。