伴隨著科技的發(fā)展進步與社會經(jīng)濟的進步,各類機床逐步朝向超精密的方向發(fā)展進步。實現(xiàn)超精密加工的最為關(guān)鍵的根本前提是超精密機床的研制。但是截至當前,超精密加工技術(shù)的發(fā)展也超精密機床的研制進入到了一個瓶頸時期。為了提升超精密加工的精度,保證加工工件的質(zhì)量,延長機床使用壽命等多項要求,對超精密機床的關(guān)鍵部件展開研究與分析是將來需要解決的主要難題之一。機床整體的動態(tài)特性是受機床各軸的動態(tài)特性影響,機床在運行工作過程里,存在非常復雜、多樣的機電耦合作用。在這其中,機械系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)對機床的動態(tài)性能存在巨大的影響作用,從而決定了機床的生產(chǎn)加工精度。所以,除了需要思考機床的機械結(jié)構(gòu)對機床整體的動態(tài)特性的影響以外,還需要考慮機床機械系統(tǒng)和伺服控制系統(tǒng)之間的耦合對機床整體的動態(tài)性能的有何影響。主軸與導軌作為超精密機床里最為重要的兩個組成部件,它們兩者的動態(tài)特征問題是截至當前分析和研究超精密機床重點和難點。對于超精密空氣靜壓主軸和靜壓導軌系統(tǒng),分別仿真分析了它們的機械結(jié)構(gòu)及其伺服系統(tǒng)的動態(tài)特性。運用ANSYS操作應用軟件,展開模態(tài)研究分析獲取固有頻率與振型,展開諧響應研究分析了振動幅值。并且依次建立主軸與導軌...

【文章頁數(shù)】：63 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1Moore公司Nanotech500FG機床日本超精密加工技術(shù)和機床的分析

殼埃?攔鶯LNL實驗室正在開發(fā)一臺全新的超精密機床——POGAL(precisionopticalgrinderandlathe。在機床綜合系統(tǒng)設(shè)計的過程里，他們借鑒參考并且運用了以前在研發(fā)超精密金剛石車床里的實踐經(jīng)驗，例如應用了根據(jù)低熱膨脹參數(shù)物質(zhì)材料建立的獨立測量系統(tǒng)，更為精....

圖1-2POGAL機床結(jié)構(gòu)

的超精密機床——POGAL(precisionopticalgrinderandlathe。在機床綜合系統(tǒng)設(shè)計的過程里，他們借鑒參考并且運用了以前在研發(fā)超精密金剛石車床里的實踐經(jīng)驗，例如應用了根據(jù)低熱膨脹參數(shù)物質(zhì)材料建立的獨立測量系統(tǒng)，更為精密的溫度管理系統(tǒng)和對刀具與工件回路展開....

圖1-3ANGEL三軸超精密機床和設(shè)計圖

哈爾濱工業(yè)大學工學碩士學位論文-4-電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展進步。在這其中，東京工業(yè)大學的精密工程研究所在超精密加工工藝及裝備方向處于國際領(lǐng)先水平，是全球研究超精密加工技術(shù)和機床的知名研究所。他們在二零零八年，研發(fā)出了三軸超精密機床——ANGEL[12]，其組成結(jié)構(gòu)與設(shè)計原理，如圖1-....

圖1-4Robo-nanoα-0iB機床外觀、布局與加工工件

哈爾濱工業(yè)大學工學碩士學位論文-4-電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展進步。在這其中，東京工業(yè)大學的精密工程研究所在超精密加工工藝及裝備方向處于國際領(lǐng)先水平，是全球研究超精密加工技術(shù)和機床的知名研究所。他們在二零零八年，研發(fā)出了三軸超精密機床——ANGEL[12]，其組成結(jié)構(gòu)與設(shè)計原理，如圖1-....

本文編號：4013289