伴隨著科技的發(fā)展進(jìn)步與社會(huì)經(jīng)濟(jì)的進(jìn)步,各類機(jī)床逐步朝向超精密的方向發(fā)展進(jìn)步。實(shí)現(xiàn)超精密加工的最為關(guān)鍵的根本前提是超精密機(jī)床的研制。但是截至當(dāng)前,超精密加工技術(shù)的發(fā)展也超精密機(jī)床的研制進(jìn)入到了一個(gè)瓶頸時(shí)期。為了提升超精密加工的精度,保證加工工件的質(zhì)量,延長(zhǎng)機(jī)床使用壽命等多項(xiàng)要求,對(duì)超精密機(jī)床的關(guān)鍵部件展開研究與分析是將來需要解決的主要難題之一。機(jī)床整體的動(dòng)態(tài)特性是受機(jī)床各軸的動(dòng)態(tài)特性影響,機(jī)床在運(yùn)行工作過程里,存在非常復(fù)雜、多樣的機(jī)電耦合作用。在這其中,機(jī)械系統(tǒng)與伺服系統(tǒng)對(duì)機(jī)床的動(dòng)態(tài)性能存在巨大的影響作用,從而決定了機(jī)床的生產(chǎn)加工精度。所以,除了需要思考機(jī)床的機(jī)械結(jié)構(gòu)對(duì)機(jī)床整體的動(dòng)態(tài)特性的影響以外,還需要考慮機(jī)床機(jī)械系統(tǒng)和伺服控制系統(tǒng)之間的耦合對(duì)機(jī)床整體的動(dòng)態(tài)性能的有何影響。主軸與導(dǎo)軌作為超精密機(jī)床里最為重要的兩個(gè)組成部件,它們兩者的動(dòng)態(tài)特征問題是截至當(dāng)前分析和研究超精密機(jī)床重點(diǎn)和難點(diǎn)。對(duì)于超精密空氣靜壓主軸和靜壓導(dǎo)軌系統(tǒng),分別仿真分析了它們的機(jī)械結(jié)構(gòu)及其伺服系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)特性。運(yùn)用ANSYS操作應(yīng)用軟件,展開模態(tài)研究分析獲取固有頻率與振型,展開諧響應(yīng)研究分析了振動(dòng)幅值。并且依次建立主軸與導(dǎo)軌...

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【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1Moore公司Nanotech500FG機(jī)床日本超精密加工技術(shù)和機(jī)床的分析

殼埃?攔鶯LNL實(shí)驗(yàn)室正在開發(fā)一臺(tái)全新的超精密機(jī)床——POGAL(precisionopticalgrinderandlathe。在機(jī)床綜合系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過程里，他們借鑒參考并且運(yùn)用了以前在研發(fā)超精密金剛石車床里的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，例如應(yīng)用了根據(jù)低熱膨脹參數(shù)物質(zhì)材料建立的獨(dú)立測(cè)量系統(tǒng)，更為精....

圖1-2POGAL機(jī)床結(jié)構(gòu)

的超精密機(jī)床——POGAL(precisionopticalgrinderandlathe。在機(jī)床綜合系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過程里，他們借鑒參考并且運(yùn)用了以前在研發(fā)超精密金剛石車床里的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，例如應(yīng)用了根據(jù)低熱膨脹參數(shù)物質(zhì)材料建立的獨(dú)立測(cè)量系統(tǒng)，更為精密的溫度管理系統(tǒng)和對(duì)刀具與工件回路展開....

圖1-3ANGEL三軸超精密機(jī)床和設(shè)計(jì)圖

哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文-4-電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展進(jìn)步。在這其中，東京工業(yè)大學(xué)的精密工程研究所在超精密加工工藝及裝備方向處于國(guó)際領(lǐng)先水平，是全球研究超精密加工技術(shù)和機(jī)床的知名研究所。他們?cè)诙懔惆四�，研發(fā)出了三軸超精密機(jī)床——ANGEL[12]，其組成結(jié)構(gòu)與設(shè)計(jì)原理，如圖1-....

圖1-4Robo-nanoα-0iB機(jī)床外觀、布局與加工工件

哈爾濱工業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文-4-電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展進(jìn)步。在這其中，東京工業(yè)大學(xué)的精密工程研究所在超精密加工工藝及裝備方向處于國(guó)際領(lǐng)先水平，是全球研究超精密加工技術(shù)和機(jī)床的知名研究所。他們?cè)诙懔惆四�，研發(fā)出了三軸超精密機(jī)床——ANGEL[12]，其組成結(jié)構(gòu)與設(shè)計(jì)原理，如圖1-....

本文編號(hào)：4013289