基于Stoney公式適用性分析——取向硅鋼絕緣涂層張應(yīng)力的計(jì)算
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【部分圖文】:
圖1成品取向硅鋼的元素分布分析數(shù)據(jù)
3)利用輝光光譜儀測(cè)量絕緣涂層的厚度,其分析區(qū)域大小是直徑為3mm的圓,相對(duì)于微觀方法更具代表性。由于取向硅鋼還存在硅酸鎂底層,涂層狀態(tài)較為復(fù)雜,以成品取向硅鋼的分析結(jié)果為例(見(jiàn)圖1)對(duì)分析方法進(jìn)行說(shuō)明:在距離表面1.3μm處,Mg元素和Si元素含量發(fā)生明顯變化,絕緣涂層中的其....
圖2涂層對(duì)取向硅鋼應(yīng)力作用的局部示意圖
一般認(rèn)為,涂層的殘余應(yīng)力起源于基體和涂層的熱膨脹失配作用,作用原理如圖2所示。一般情況下,樣品上下同時(shí)存在相近厚度的涂層,由于受力平衡因而在宏觀上表現(xiàn)為平整的外觀。但當(dāng)樣品僅有一側(cè)存在應(yīng)力涂層時(shí),樣品就會(huì)發(fā)生彎曲,如圖3所示。圖3僅有單面涂層情況下取向硅鋼的彎曲情況示意圖
圖3僅有單面涂層情況下取向硅鋼的彎曲情況示意圖
圖2涂層對(duì)取向硅鋼應(yīng)力作用的局部示意圖Stoney[17]于1909年提出了計(jì)算薄膜殘余應(yīng)力的公式,見(jiàn)式(1)。該公式利用彎曲形變的曲率半徑“r”來(lái)表征薄膜的殘余應(yīng)力大小,通過(guò)基體和薄膜之間力的關(guān)系建立等式?紤]到薄膜應(yīng)力的不均勻性(見(jiàn)圖2),實(shí)際上Stoney公式計(jì)算得到的是....
圖4硅酸鎂底層的截面形貌
采用掃描電鏡分析取向硅鋼涂層的典型結(jié)構(gòu)。實(shí)際上,取向硅鋼的絕緣涂層下方還存在一層硅酸鎂底層,因此對(duì)涂覆前后樣品的狀態(tài)分別進(jìn)行分析。圖4為取向硅鋼為涂覆絕緣涂層前截面的微觀狀態(tài),可以看到硅酸鎂底層的顆粒緊密地附著在基體上,厚度大約為1μm,平整度較差。圖5展示取向硅鋼成品絕緣涂層的....
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