激光刻蝕是一種現(xiàn)代材料表面處理技術(shù),近年來人們發(fā)現(xiàn)它可以有效地降低粒子加速器真空室材料表面的二次電子產(chǎn)額。歐洲核子研究中心已經(jīng)將此方法應(yīng)用到LHC對(duì)撞機(jī)亮度升級(jí)實(shí)驗(yàn)中。不銹鋼是加速器真空室常用的結(jié)構(gòu)材料,利用激光刻蝕不銹鋼材料表面,通過掃描電子顯微鏡對(duì)樣品表征,結(jié)果顯示刻蝕之后材料表面存在則的溝壑結(jié)構(gòu)。利用高精度二次電子特性參數(shù)測試儀測量刻蝕表面二次電子產(chǎn)額。發(fā)現(xiàn)刻蝕前后樣品最大二次電子產(chǎn)額從2.71降低至0.89。

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【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)
2 實(shí)驗(yàn)過程
3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
    3.1 1.1SEM圖像及微結(jié)構(gòu)分析
    3.2 1.2SEY測試結(jié)果及分析
4 總結(jié)和展望



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