本文采用納秒脈沖激光銑削方法對尺寸小于1 000μm,特征尺寸小于100μm的微錐體進(jìn)行加工,激光銑削過程中脈沖激光與材料相互作用復(fù)雜,因此加工結(jié)果難以預(yù)測。本文首次以微圓錐的形狀誤差為預(yù)測目標(biāo),包括錐角誤差(AT_α)、直徑誤差(T_DS)和對稱性誤差(E_S),首先采用正交試驗(yàn)對顯著影響加工結(jié)果的參數(shù)進(jìn)行選擇,然后利用采用不敏感損失函數(shù)的支持向量回歸機(jī)(ε-SVR)建立激光微燒蝕加工預(yù)測模型,并且根據(jù)參數(shù)對預(yù)測結(jié)果的影響對參數(shù)進(jìn)行擇優(yōu)選取,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,較優(yōu)參數(shù)的ε-SVR模型預(yù)測得到AT_α=3.8^°,T_DS=5.35μm,E_S=1.15μm。因此,ε-SVR適用于激光銑削加工微錐的誤差預(yù)測,并對激光銑削加工其他微三維結(jié)構(gòu)提供了參考。

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本文編號：3881078