采用電弧離子鍍?cè)?04不銹鋼襯底上制備雙層周期為1351²60 nm的Cr/CrN多層膜。掃描電鏡清晰地顯示Cr/CrN沉積膜的多層結(jié)構(gòu)和層界。X射線衍射譜顯示沉積的多層膜含有Cr、CrN和Cr₂N相。隨著沉積膜雙層周期的增加,制備的多層膜的硬度和彈性模量略有增加,但是所有多層膜的硬度和彈性模量都低于單層CrN膜的硬度和彈性模量。因?yàn)镃r層比其氮化物層軟,所以多層膜的硬度隨雙層周期的縮短或Cr層體積分?jǐn)?shù)的增加而減小。由于具有適當(dāng)厚度的Cr層和氮化物層,雙層周期為862 nm的Cr/CrN多層膜的壓痕韌性最高。然而,由于擁有更多的氮化物相,雙層周期為1351 nm的Cr/CrN多層膜的壓痕韌性最低。Cr/CrN多層膜的壓痕韌性與雙層周期有關(guān),具有適當(dāng)厚度Cr層和氮化物層的Cr/CrN多層膜具有最高的壓痕韌性。 

【文章來(lái)源】：Transactions of Nonferrous Metals Society of China. 2015,25(03)EISCICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：6 頁(yè)


本文編號(hào)：3335811