發(fā)布時(shí)間：2021-02-01 02:42

　　隨著高端裝備在加工光學(xué)零件以及一些大型復(fù)雜零件時(shí)對(duì)加工精度的要求越來(lái)越高,超精密機(jī)床的地位在機(jī)床行業(yè)越來(lái)越高。超精密機(jī)床對(duì)關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)部件要求極高,一般需要要求重復(fù)定位、運(yùn)動(dòng)直線度、主軸跳動(dòng)、主軸回轉(zhuǎn)等精度均達(dá)到納米級(jí)別,甚至更高。導(dǎo)軌是機(jī)床直線運(yùn)動(dòng)的良好部件,但普通導(dǎo)軌的精度卻達(dá)不到超精密機(jī)床的要求。靜壓導(dǎo)軌因其高精度、高穩(wěn)定性、低振動(dòng)、低摩擦成為超精密機(jī)床最適用的直線運(yùn)動(dòng)部件,因而被廣泛應(yīng)用于超精密機(jī)床,并且國(guó)內(nèi)外學(xué)者都對(duì)其做了廣泛研究,包括承載力特性,剛度,節(jié)流孔,油腔結(jié)構(gòu)等,但是在對(duì)滑塊運(yùn)動(dòng)直線度的相關(guān)研究上不夠深入或者幾乎沒(méi)有�，F(xiàn)有關(guān)于研究滑塊運(yùn)動(dòng)直線度的都是先給定一個(gè)特征平面（一般用三角函數(shù)來(lái)描述給定的平面）,使滑塊在上面進(jìn)行運(yùn)動(dòng),然后改變?nèi)呛瘮?shù)的相位、幅值或者波長(zhǎng),來(lái)探究滑塊在這些平面上的運(yùn)動(dòng)情況,而實(shí)際情況下導(dǎo)軌表面是無(wú)規(guī)則的凹凸不平的面,與現(xiàn)有研究假設(shè)的導(dǎo)軌面相差較大。因此為了與實(shí)際情況更加貼合,本文做了以下研究:（1）設(shè)計(jì)了一個(gè)液體靜壓導(dǎo)軌工作臺(tái),對(duì)部分結(jié)構(gòu)如油腔、小孔、幅板等結(jié)構(gòu)使用了ANSYS仿真分析,并根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行選擇,然后平臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真優(yōu)化,并使... 

【文章來(lái)源】：西南科技大學(xué)四川省

【文章頁(yè)數(shù)】：87 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

美國(guó)勞倫斯實(shí)驗(yàn)室大型金剛石立式車床Kugler公司生產(chǎn)了TDM-1200超精密車床，如圖1-2所示，該車床采用前后雙空

緒論3圖1-1美國(guó)勞倫斯實(shí)驗(yàn)室大型金剛石立式車床Kugler公司生產(chǎn)了TDM-1200超精密車床，如圖1-2所示，該車床采用前后雙空氣靜壓主軸，可圓柱面上加工出微結(jié)構(gòu)[5]。圖1-2Kugler公司TDM-1200超精密車床美國(guó)的Precitech公司可以說(shuō)是超精密機(jī)床行業(yè)的標(biāo)桿，其研制了一臺(tái)超精密車床如圖1-3所示，該機(jī)床直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用了液體靜壓導(dǎo)軌，兩根直線軸的直線度和垂直度均達(dá)到亞微米級(jí)別，該機(jī)床可以適用于多種精度極高的加工任務(wù)[6]。該公司研制出來(lái)的許多類型的超精密機(jī)床都處于行業(yè)領(lǐng)先地位。圖1-3Precitech超精密車床韓國(guó)的Won-JaeLee和Seok-IlKim研發(fā)了五軸超精密加工機(jī)床，如圖1-4所示，其直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用液體靜壓支承和直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的方式，該機(jī)床能夠在大表面上加工出穩(wěn)定的微細(xì)結(jié)構(gòu)[7]。

緒論3圖1-1美國(guó)勞倫斯實(shí)驗(yàn)室大型金剛石立式車床Kugler公司生產(chǎn)了TDM-1200超精密車床，如圖1-2所示，該車床采用前后雙空氣靜壓主軸，可圓柱面上加工出微結(jié)構(gòu)[5]。圖1-2Kugler公司TDM-1200超精密車床美國(guó)的Precitech公司可以說(shuō)是超精密機(jī)床行業(yè)的標(biāo)桿，其研制了一臺(tái)超精密車床如圖1-3所示，該機(jī)床直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用了液體靜壓導(dǎo)軌，兩根直線軸的直線度和垂直度均達(dá)到亞微米級(jí)別，該機(jī)床可以適用于多種精度極高的加工任務(wù)[6]。該公司研制出來(lái)的許多類型的超精密機(jī)床都處于行業(yè)領(lǐng)先地位。圖1-3Precitech超精密車床韓國(guó)的Won-JaeLee和Seok-IlKim研發(fā)了五軸超精密加工機(jī)床，如圖1-4所示，其直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用液體靜壓支承和直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的方式，該機(jī)床能夠在大表面上加工出穩(wěn)定的微細(xì)結(jié)構(gòu)[7]。

【參考文獻(xiàn)】：
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[6]新型高液阻液體靜壓導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)及特性分析[D]. 彭沖.西安理工大學(xué) 2014
[7]加工中心立柱結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)與靜壓導(dǎo)軌分析[D]. 肖齊.大連理工大學(xué) 2014
[8]超精密液體靜壓導(dǎo)軌靜動(dòng)態(tài)特性分析及控制技術(shù)研究[D]. 董鵬程.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2013
[9]精密機(jī)床靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)及性能分析[D]. 翟亞楠.東北大學(xué) 2012
[10]超精密金剛石車床熱態(tài)特性分析[D]. 江云.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2011



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